流体管理

インテグリスは、原材料薬液の供給からユースポイント(POU)に至るまで、リークフリーで信頼性に優れた完全な流体制御ネットワークを構築するための総合的なシステムソリューションを提供

原材料薬液の供給、CMP、洗浄・剥離、およびリソグラフィープロセスを通して、ファブの生産性を最大限に高め、歩留まりを改善し、所有コストを削減する幅広い流体管理のソリューションを提供しています。