流体管理

幅広い流体管理のソリューション

流体管理


インテグリスは、原材料薬液の供給からユースポイント(POU)に至るまで、リークフリーで信頼性に優れた完全な流体制御ネットワークを構築するための総合的なシステムソリューションを提供します。


原材料薬液の供給、CMP、洗浄・剥離、およびリソグラフィープロセスを通して、ファブの生産性を最大限に高め、歩留まりを改善し、所有コストを削減する幅広い流体管理のソリューションを提供しています。

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高純度薬液供給における製造からユースポイントまでの 一貫した汚染原因の削減