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洗浄サービス

インテグリスのサービスセンターは、最先端の洗浄能力と汚染分析分析装置に加え、物流管理、スペアパーツと製品再認証を可能とする体制を整えています。インテグリスはオンサイトとオフサイト両方の洗浄サービスを世界に提供しています。これらのサービスプログラムはお客様のニーズに合わせてカスタマイズされます。

標準的なオンサイトおよびオフサイトのサービス内容
  • 洗浄
  • メンテナンス
  • 外観確認
  • 検査
  • トレーニング
  • 分析サービスサポート
  • 製品寿命の管理

詳しい洗浄サービスの内容について:

担当営業にお問合せください。

「お問い合わせ」ページでも国内および海外の拠点情報をご確認いただけます

お問合せ

インテグリスの洗浄工程と処理条件はインテグリス製品だけでなく他社製品でも対応可能です。インテグリスが半導体分野で重点的にサポートする製品:300 mm FOSB、300 mm FOUP、200 mm出荷容器およびレチクルポッド

半導体以外の分野では、医薬品、医療、自動車、太陽電池関連のお客様向けに、幅広い種類の材料や製品の洗浄をしています。

オンサイトサービスの事例

FOUP 洗浄

世界最大級のある半導体装置メーカーは、FOUP洗浄におけるCuプロセスの影響を評価するためにインテグリスがパートナーとして選ばれました。インテグリスのFOUPは製造工場に導入され、当社の現場担当者が管理し、併せてFOUPの寿命と装置互換性についても評価を行いました。この包括的なプログラムはインテグリスの豊富なラボ試験設備を活用し、汚染の問題を特定しました。インテグリスとパートナーシップを結ぶことで、このメーカーには最終的に先端プロセスとFOUP洗浄の相互作用についての理解が深まったというメリットがありました。

SMIFポッドとウェーハキャリア

ヨーロッパのある大手の半導体メーカーは生産性とROIの改善を迫られていました。そこでインテグリスは、まず旧式のウェーハキャリアをインテグリスの高性能SMIFポッドと先端の搬送キャリアに置き換え、次に高度な専門知識を持つオンサイトチームが100%の性能を発揮できるよう工程中の製品の追跡とメンテナンスをサポートするという2つのプログラムを提案しました。この半導体メーカーは、インテグリスへのアウトソーシングによる安定した品質と固定費の削減を両立する最先端のウェーハハンドリングプログラムを採用しました。