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FOUPサービス

お客様の製造への投資を賢明なものにするために、インテグリスの分析チームはお客様の製造プロセスを最大限に活用するためのお手伝いをします。お客様の問題の解析と解決をサポートするため、インテグリスにはお客様の固有のニーズに対応する専門知識を持った18のラボがあります。

お客様のニーズには、原因不明のプロセス中断の解決や、工程内および定期的な製造委託先のAMCサンプリングにおける汚染リスク評価もあります。インテグリスのISO登録認定の施設は、フィールドサポートチームとの協力体制のもと、生産への影響を最小限に抑えながら正確なデータを収集し、迅速に結果を提供します。

インテグリスが提供している分析サービス:
  • 液中パーティクル測定
  • 金属・イオン・有機汚染
  • 重量分析
  • 粒度分析
  • AMC (気中分子状汚染物質)
  • 湿度測定
  • 微生物分析

詳しいFOUPサービスの内容について:

担当営業にお問合せください。

「お問い合わせ」ページでも国内および海外の拠点情報をご確認いただけます

お問合せ

オンサイトサービスの事例

世界最大級のある半導体装置メーカーは、FOUP洗浄におけるCuプロセスの影響を評価するためにインテグリスがパートナーとして選ばれました。インテグリスのFOUPは製造工場に導入され、当社の現場担当者が管理し、併せてFOUPの寿命と装置互換性についても評価を行いました。この包括的なプログラムはインテグリスの豊富なラボ試験設備を活用し、汚染の問題を特定しました。インテグリスとパートナーシップを結ぶことで、このメーカーには最終的に先端プロセスとFOUP洗浄の相互作用についての理解が深まったというメリットがありました。