配管への電気ショック： 静電気放電がビジネスに悪影響を及ぼす理由

雷がある場所に落ちて破壊しながら移動するのと同じように、１回の静電気放電が半導体メーカーの収益に影響を与える可能性があります。先端ノードの半導体工場では、プロセス装置におけるステンレススチール製の構成部品が厳しい清浄度要件を満たせず、フッ素樹脂に移行したことにより静電気放電による危険性が広がっています。

このホワイトペーパーは、PFAをベースとしたフッ素樹脂で構成される薬液供給システムを導入することで生じる新たな静電気放電の課題を検証し、問題を軽減するための革新的なアプローチを提案します。