一杯のコーヒーを飲みながら、葉脈やシマウマの縞、あるいは孔雀の斑点の模様がどのようにして作られたのか疑問に思ったことはありませんか？ アラン チューリングはこれを疑問に思い、1952 年に反応拡散系を数学的に定義し答えを出しました。彼は反応拡散系を局所的に相互に影響を及ぼし、より大きな系に拡散するパターンを作成できるコンポーネントを持つものと定義しました。彼のモデルは、パターンが予測可能で固有であると定義しています。 チューリングはコンピューターサイエンスの先駆的な研究者として有名ですが、この専門分野外の研究は、自然界のパターンを予測する理論の基礎を形成しました。
このホワイトペーパーは、リソグラフィプロセスで発生する可能性のある欠陥の影響、その原因の予測、解決のヒント、および完璧なパターンを追求するための変動性の排除について説明しています。
