清浄性と安全性の実現:安全でクリーンな薬液供給を実現する適切なコンテナと接続システムの選び方

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原料薬品と特殊化学薬品の安定供給が欠かせない業界は数多く存在しますが、中でも半導体業界の清浄性への要求は群を抜いています。半導体メーカーは人工知能 (AI)、5G、ビッグ データといった現在のテクノロジーのメガトレンドに牽引され、最先端のテクノロジーノードを追い求めており、こうした薬品への清浄度要件は厳しさを増す一方です。
 
ロジックやメモリデバイスは世代が進むほど微細化され、歩留まり、性能および信頼性を損なう汚染や欠陥の影響を受けやすくなっていることがその背景にあります。そこで、高純度薬品を業界全体にわたって的確に供給できるように、業界規格団体は数十年の歳月をかけて原料、成分、分析手法に関連する規格を整備してきました。
 
半導体業界向けの原料薬品メーカーと特殊配合薬品メーカーは、共にこうした事情を踏まえて、これらの規格に適合した製品を供給し続けようと努力を重ねています。想像してみてください。最高純度の化学薬品を苦労して製造し、パッケージングして出荷しても、顧客への受け渡し時には規格値を下回っていたとしたら、どれほど歯がゆい思いをするでしょう。

このホワイトペーパーは、高純度薬品を安全に供給するうえで、化学薬品のサプライヤーとユーザー側の工場管理者がそれぞれ直面している課題と、推奨される解決方法について説明します。