Impact® 8G フィルター
- 半導体、データストレージ、LED製造
- フォトリソグラフィ
- フォトレジスト、溶剤ベースの薬液
- 装置、使用点
仕様書
材質 | フィルター | 8G, 8G-L | Azora™ (アゾーラ)、UPE、ナイロン、 Duo (UPE/ナイロン) | |
8G UCP, 8G-L UCP | UPE、ナイロン、Duo | |||
サポート、コア、シェル | HDPE | |||
O-リング (OFタイプ) | カルレッツ | |||
膜面積 | 8G | アゾーラ G1 | 1200 cm2 | |
アゾーラ G2 | 1500 cm2 | |||
8G, 8G UCP | UPE | 1200 cm2 | ||
8G, 8G UCP | ナイロン | 800 cm2 | ||
8G, 8G UCP | Duo | 800 cm2 | ||
8G | PCM* | 1300 cm2 | ||
8G-L | アゾーラ G2 | 3000 cm2 | ||
8G-L, 8G-L UCP | UPE | 2400 cm2 | ||
8G-L | ナイロン | 1600 cm2 | ||
8G-L, 8G-L UCP | Duo | 1600 cm2 | ||
除粒子径 (洗浄グレード別) |
アゾーラ | スタンダード:なし | UC:なし |
UCZ: G1、G2 |
UPE | スタンダード:3、5、10、20 nm、Oktolex (オクトレックス) G1 | UC:なし | UCP:1、3、5、10 nm | |
ナイロン | スタンダード:10、20 nm | UC:10 nm | UCP:5、20 nm | |
Duo | スタンダード:5、10 nm | UC:なし | UCP:1、3、5、10 nm | |
使用条件 | 最高使用入口側圧力: | 0.34 MPa @ 25 °C | ||
最大許容正差圧/逆差圧: | 0.27 MPa @ 25 °C | |||
最高使用温度: | 40 °C | |||
ホールドアップ ボリューム | インパクト 8G / 8G UCP | 55 mL | ||
インパクト 8G-L / 8G-L UCP | 110 mL | |||
適合する薬液 | ウェブサイトの 耐薬品性 ページをご確認ください | |||
濡れ性 | PGMEA、PGME、およびその他のフォトケミカル溶剤に対し自然に濡れる | |||
接続 | インパクト 2 マニホールドに適合 | |||
インテグリスは、最適なろ過性能を確保するために、少なくとも 1 年に 1 回はフィルター交換することをお勧めしています。 定期的な交換は、過度の使用から生じる薬液リークの可能性を減らします。 また、インテグリスの標準保証期間は出荷日から 1 年です。 |
ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました
Impact 8G Photochemical Filter Technology Overview
型番 | フィルターの洗浄グレード | メンブレン/メディア | 形状 | 除粒子性能 | 親水化処理 |
---|---|---|---|---|---|
A2AXC0MK1 | 標準 | UPE | ショートカプセル | 20 nm | なし |
A2AXCLMK1 | 標準 | UPE | ロングカプセル | 20 nm | なし |
A2CEC0MK1UCP | ウルトラクリーン プラス | UPE | ショートカプセル | 1 nm | なし |
A2CFC0MK1UCP | ウルトラクリーン プラス | UPE | ショートカプセル | 5 nm | なし |
A2CFCLMK1UCP | ウルトラクリーン プラス | UPE | ロングカプセル | 5 nm | なし |
A2CKC0MK1UCP | ウルトラクリーン プラス | UPE | ショートカプセル | 3 nm | なし |
A2CKCLMK1UCP | ウルトラクリーン プラス | UPE | ロングカプセル | 3 nm | なし |
A2CTC0MK1UCP | ウルトラクリーン プラス | UPE | ショートカプセル | 10 nm | なし |
A2CTCLMK1UCP | ウルトラクリーン プラス | UPE | ロングカプセル | 10 nm | なし |
A2DE100K1UCP | ウルトラクリーン プラス | UPE/ナイロン(DUO) | ショートカプセル | 1 nm | なし |
A2DE1L0K1UCP | ウルトラクリーン プラス | UPE/ナイロン(DUO) | ロングカプセル | 1 nm | なし |
A2DFC00K1 | 標準 | UPE/ナイロン(DUO) | ショートカプセル | 5 nm | なし |
A2DFC00K1UCP | ウルトラクリーン プラス | UPE/ナイロン(DUO) | ショートカプセル | 5 nm | なし |
A2DFCL0K1 | 標準 | UPE/ナイロン(DUO) | ロングカプセル | 5 nm | なし |
A2DFCL0K1UCP | ウルトラクリーン プラス | UPE/ナイロン(DUO) | ロングカプセル | 5 nm | なし |
A2DKC00K1UCP | ウルトラクリーン プラス | UPE/ナイロン(DUO) | ショートカプセル | 3 nm | なし |
A2DKCL0K1UCP | ウルトラクリーン プラス | UPE/ナイロン(DUO) | ロングカプセル | 3 nm | なし |
A2DTC00K1UCP | ウルトラクリーン プラス | UPE/ナイロン(DUO) | ショートカプセル | 10 nm | なし |
A2DTCL0K1 | 標準 | UPE/ナイロン(DUO) | ロングカプセル | 10 nm | なし |
A2DTCL0K1UCP | ウルトラクリーン プラス | UPE/ナイロン(DUO) | ロングカプセル | 10 nm | なし |
A2NTC00K1 | 標準 | ナイロン | ショートカプセル | 10 nm | なし |
A2NTC00K1UC | ウルトラクリーン | ナイロン | ショートカプセル | 10 nm | なし |
A2NTCL0K1 | 標準 | ナイロン | ロングカプセル | 10 nm | なし |
A2NTCL0K1UC | ウルトラクリーン | ナイロン | ロングカプセル | 10 nm | なし |
A2NXC00K1 | 標準 | ナイロン | ショートカプセル | 20 nm | なし |
A2NXC00K1UCP | ウルトラクリーン プラス | ナイロン | ショートカプセル | 20 nm | なし |
A2NXCL0K1 | 標準 | ナイロン | ロングカプセル | 20 nm | なし |
A2NXCL0K1UCP | ウルトラクリーン プラス | ナイロン | ロングカプセル | 20 nm | なし |
A2SFC0MK1 | 標準 | UPE | ショートカプセル | 5 nm | なし |
A2SFCLMK1 | 標準 | UPE | ロングカプセル | 5 nm | なし |
A2SKC0MK1 | 標準 | UPE | ショートカプセル | 3 nm | なし |
A2SKCLMK1 | 標準 | UPE | ロングカプセル | 3 nm | なし |
A2SKCLMK1PW | 標準 | UPE | ロングカプセル | 3 nm | あり (純水封入) |
A2STC0MK1 | 標準 | UPE | ショートカプセル | 10 nm | なし |
A2STCLMK1 | 標準 | UPE | ロングカプセル | 10 nm | なし |
S4440R136Y18 | 標準 | UPE Oktolex™ | ロングカプセル | G1 | なし |