PTFEメンブレン製インラインガスフィルター

プロセス装置用ケミカルフィルター

インテグリスの装置用AMCフィルターは、酸、塩基、有機物を含むラボ内の一般的なAMCに対し優れた保護を提供します。装置用AMCフィルターは、標準的なフィルターメディアとカスタム仕様のメディアブレンドの両方を使い、さまざまなAMC除去に対応します。

クリーンルーム用ケミカルフィルター

クリーンルーム用フィルターは、独自の化学反応により低い圧力損失で問題となる汚染物質を除去します。VaporSorb™(ベーパーソーブ) クリーンルーム用ケミカルフィルターは、95%以上の除去効率を実現します。上流/下流の方向を合わせて設置面に取り付けられるのでサイドアクセスタイプのハウジングユニットや吊り下げ型のファンユニットにも簡単に設置可能です。

Caerus™コーティング技術

ALDコーティングのCaerus™ (カエラス) シリーズは低温で優れた膜質の成膜ができます。また、カエラスコーティングは、コンフォーマル、高密度、ピンホールフリーで均質な微細構造です。このコーティングは密着性に優れ、抜群の耐腐食性とエッチング耐性を発揮します。スタンドオフ電圧が高く、微量金属拡散障壁層の特性に優れています。

Pegasus™コーティング技術

Pegasus™ (ペガサス) シリーズのコーティングは、フッ素系、塩素系のプラズマエッチング向けのPVDコーティング製品シリーズです。ペガサスコーティングはアルミニウム、アルミナ、ステンレススチール、その他の一般的な基材に低温成膜が可能で、密着性に優れています。また、このコーティングはエッチング耐性と耐酸化性に優れ、パーティクルの発生も低減します。

ガスディフューザー

インテグリスのガスディフューザーは、ほとんどのシステム設計に互換性があり、取り付けが簡単で、既存のロードロックチャンバー、冷却チャンバー、トランスファーチャンバー、プロセスチャンバーへの後付けが可能です。

ニッケルメンブレン製インラインガスフィルター

インテグリスの高純度ニッケルメンブレンのフィルターは、高圧、高温アプリケーション向けのクリーンで効率的なガスフィルターです。

ステンレススチール製インラインガスフィルター

インテグリスは、ステンレススチール製のメンブレンとハウジングを使用した高圧・高温アプリケーション向けの各種フィルターを提供しています。

集積ガスフィルター

Wafergard® (ウェハーガード) シリーズのＣシール,Wシールの集積フィルターは、業界最高水準の製品です。フィルター部は、ステンレススチール製またはニッケル製で、最高レベルのプロセス保護性能と優れた耐腐食性を有し、不活性ガス、ハイドライドガス、反応性の高いガスにも対応可能です。

グラファイトのグレード

インテグリスは、半導体製造プロセスの厳しい要件を満たす、幅広いグラファイト材料と後工程、機械加工用製品を提供しています。アプリケーションに最適なグラファイトを結晶粒径(1、5、10 µm)別に選択可能です。すべてのグレードが、バルク形式か、特定のアプリケーション用にカスタマイズされたコンポーネントとして販売されます。

高純度グラファイト部品

インテグリスのグラファイトは、強度、結晶粒サイズ、硬度のバランスのとれた均質な微細構造を持つ材料として厳しい管理の下で生産され、お客様のアプリケーションに最適な性能を提供します。

その他のガスフィルター

高流量で耐腐食性に優れ、軽量で手軽な圧縮ガス用のPOU (使用点)用ツール。

SUPERSiC®シリコンカーバイド

インテグリスは、独自のコンバージョンプロセスにより、最高レベルのシリコンカーバイド製品を製造しています。SUPERSiC製品には、お客様の厳しい要件を満たす幅広いオプションがあります。