Caerus™コーティング技術
ALDコーティング
ALDコーティングのCaerus™ (カエラス) シリーズは低温で優れた膜質の成膜ができます。また、カエラスコーティングは、コンフォーマル、高密度、ピンホールフリーで均質な微細構造です。このコーティングは密着性に優れ、抜群の耐腐食性とエッチング耐性を発揮します。スタンドオフ電圧が高く、微量金属拡散障壁層の特性に優れています。
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Caerus™100(カエラス100)シリーズは、低温でも優れたフィルム品質で成膜できるアルミニウムベースの酸化物コーティングです。
コーティング厚
- 10 - 1000 nmの間
- フッ素環境
- > 200 GPa
- N/A
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