液体用フィルター
- Fluorogard®
- 溶剤
- 酸性水溶液
- 塩基類
- 洗剤
- > 90 nm
- 装置内
- バルク
- Intercept®
- 希釈酸
- 14 - 22 nm
- > 90 nm
- 28 - 90 nm
- 装置内
- Planargard®
- スラリー
- < 10 nm
- 14 - 22 nm
- 28 - 90 nm
- > 90 nm
- バルク
- Microgard™
- フォトレジスト
- フォトケミカル
- 溶剤
- 14 - 28 nm
- < 10 nm
- 28 - 90 nm
- > 90 nm
- バルク
- ProcessGard®
- 希釈酸
- 希釈塩基
- 溶剤
- レジスト剥離液
- > 90 nm
- 前ろ過
- 装置内
- Savana®
- フォトケミカル
- フォトレジスト
- 溶剤
- N/A
- ラボベンチ