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SGシリーズバルブ


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極めて小型の手動式1/4ターンのパネルマウントタイプSGシリーズ二方バルブは、限られたスペースに最適で、厚さ6.35 mmまでのパネルに取り付けることができます。
アクチュエータの種類
  • 手動式1/4ターンパネルマウント
  • 手動式
製品構成
  • 2方向
ポート接続
  • Flaretek®
  • NPTメス
  • PureBond®パイプ
産業
  • 半導体
極めて小型の手動式1/4ターンのSGシリーズ二方バルブは、限られたスペースに最適で、全閉から全開までわずか1/4回転です。
アクチュエータの種類
  • 手動式1/4ターン
  • 手動式
製品構成
  • 2方向
ポート接続
  • Flaretek®
  • NPTメス
  • PureBond®パイプ
産業
  • 半導体
極めて小型の手動式トグルタイプのSGシリーズ二方バルブは、長期間高い信頼性を発揮し、バルブの開/閉状態を目視確認できます。
アクチュエータの種類
  • 手動式トグル
  • 手動式
製品構成
  • 2方向
ポート接続
  • Flaretek®
  • NPTメス
  • PureBond®パイプ
産業
  • 半導体
極めて小型の手動式トグル、パネルマウントタイプのSGシリーズ二方バルブは、長期間高い信頼性を発揮し、厚さ6.35 mmまでのパネルに取り付けることができます。
アクチュエータの種類
  • 手動式トグルパネルマウント
  • 手動式
製品構成
  • 2方向
産業
  • 半導体
プロセス
  • 薬液供給
  • CMP
  • フォトリソグラフィ
  • ウェーハの洗浄・剥離
高純度薬液ハンドリング向けの省スペースな空圧式ノーマリークローズ二方バルブです。
アクチュエータの種類
  • 空圧式ノーマリークローズ
  • 空圧式
製品構成
  • 2方向
ポート接続
  • Flaretek®
  • NPTメス
  • PureBond®パイプ
  • NPTメス
産業
  • 半導体
省スペースの無調整式サック付きバックバルブを使用すると、高純度薬液ハンドリングアプリケーションで流体をサックバックできます。
アクチュエータの種類
  • 空圧式調整不可サックバック
  • 空圧式
製品構成
  • 2方向
ポート接続
  • Flaretek®
  • NPTメス
  • PureBond®パイプ
産業
  • 半導体
高純度の薬液ハンドリング向けの省スペース、空圧式ノーマリーオープン二方バルブです。
アクチュエータの種類
  • 空圧式ノーマリーオープン
  • 空圧式
製品構成
  • 2方向
ポート接続
  • Flaretek®
  • NPTメス
  • PureBond®パイプ
  • NPTメス
産業
  • 半導体
省スペースの調整式サックバック付きバルブを使用すると、高純度薬液ハンドリングアプリケーションで流体をサックバックできます。
アクチュエータの種類
  • 空圧式調整機能付きサックバック
  • 空圧式
製品構成
  • 2方向
ポート接続
  • Flaretek®
  • NPTメス
  • PureBond®パイプ
産業
  • 半導体
高純度の薬液ハンドリング向けの省スペース、空圧式三方バルブです。
アクチュエータの種類
  • 空圧式
製品構成
  • 3方向
ポート接続
  • Flaretek®
  • NPTメス
  • PureBond®パイプ
ポートサイズ
  • "9.52 mm (3/8"")"
  • "6.35 mm (1/4"")"
極めて小型のこの三方バルブは、オールPFA製の本体と高清浄なフッ素樹脂製の接液部で流体を汚染しません。
アクチュエータの種類
  • 手動式1/4ターン
  • 手動式
製品構成
  • 3方向
ポート接続
  • Flaretek®
  • NPTメス
  • PureBond®パイプ
産業
  • 半導体
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