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PTFE メンブレン製 インライン ガスフィルター


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200 °C までの高温で優れた除粒子性能
継手サイズ
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継手タイプ
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長さ
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産業
  • Semiconductor
  • Flat Panel Display
  • Data Storage
  • LED
高純度ガスアプリケーション向けに優れた粒子除去性能を発揮するWafergard® MAX (ウェハーガード マックス) インライン ガスフィルターは、高純度ガスアプリケーション向けの業界最高水準のフィルターです。
継手サイズ
  • 6.35 mm (1/4")
  • 9.52 mm (3/8")
  • 12.7 mm (1/2")
継手タイプ
  • VCR®オス
  • Swagelok®
  • 突き合わせ溶着チューブ
長さ
  • 112.7 mm (4.44")
  • 117.9 mm (4.64")
  • 118.7 mm (4.67")
  • 127.0 mm (5.00")
  • 133.4 mm (5.25")
  • 141.2 mm (5.6")
産業
  • 半導体
  • フラットパネルディスプレイ
  • データストレージ
  • LED
Wafergard®MAX-1000 (ウェハーガード マックス 1000) インライン ガスフィルターは、超高純度ガスアプリケーションで優れた粒子除去性能を発揮します。このフィルターは、PTFEメンブレンと316Lステンレススチール製ハウジングで構成されています。
継手サイズ
  • 12.7 mm (1/2")
継手タイプ
  • ガスケットシール(VCR®互換)
  • 入口/出口: オス
  • コンプレッションシール(Swagelok®互換)
  • 入口/出口: オス
長さ
  • 127.0 mm (5.00")
  • 118.7 mm (4.67")
産業
  • 半導体
  • フラットパネルディスプレイ
  • データストレージ
  • LED
不活性ガスと反応性ガスに最適な Wafergard® (ウェハーガード) II F マイクロ インライン ガスフィルターは、あらゆるグレードの半導体プロセスガスに使用可能で、高純度ガスシステムにおいて優れた粒子除去性能を発揮します。
継手サイズ
  • 6.35 mm (1/4")
継手タイプ
  • ガスケットシール
  • 突き合わせ溶着チューブ
長さ
  • 84.1 mm (3.31")
  • 73.7 mm (2.90")
最高使用圧力
  • 207 bar (3000 psig) @ 23°C (73°F)
Wafergard® (ウェハーガード) GTL インライン ガスフィルターは、推奨流量 80SLPM の不活性ガス用フィルターです。
継手サイズ
  • RC 1/4
  • 6.35 mm (1/4")
継手タイプ
  • PTメス
  • NPTメス
長さ
  • 101 mm (4.0")
最高使用圧力
  • 0.41 MPa (4.1 bar
  • 56.6 psid) @ 20°C
Wafergard® (ウェハーガード) SG YYシリーズ ガスフィルターは、太陽光発電デバイスおよびフラットパネルディスプレイの真空プロセスに適した高性能ガスフィルターです。
継手サイズ
  • 6.35 mm (1/4")
  • 9.52 mm (3/8")
継手タイプ
  • コンプレッションシール
  • ガスケットシール
  • NPT
長さ
  • 73.7 mm (2.90")
  • 84.1 mm (3.31")
  • 115.5 mm (4.55")
  • 119.3 mm (4.70")
  • 127 mm (5.00")
  • 133.5 mm (5.26")
最高使用圧力
  • 20 MPa (200 bar
  • 2900 psid) @ 23°C (73°F)
Wafergard®GT-Plus (ウェハーガード GT-プラス) インライン ガス フィルターは、推奨流量 30L/min の不活性ガス用フィルターです。
継手サイズ
  • 3.18 mm (1/8")
  • 6.35 mm (1/4")
継手タイプ
  • コンプレッションシール
長さ
  • 69.mm (2.7")
  • 71.5 mm (2.8")
最高使用圧力
  • 0.41 MPa (4.1 bar
  • 56.6 psid) @ 20°C
Linegard™ GIGAX-FP (ラインガード ギガックス-FP) フィルターは、一般的なアプリケーション用の高流量レンジ向けのコスト効率に優れた圧縮空気および不活性ガス用のインラインガスフィルターです。
継手サイズ
  • 12.7 mm (1/2")
  • 19.05 mm (3/4")
継手タイプ
  • ガスケットシール
  • コンプレッションシール
  • 突き合わせ溶着
長さ
  • 210.8 mm (8.30")
  • 225.0 mm (8.86")
  • 222.7 mm (8.77")
産業
  • 半導体
  • フラットパネルディスプレイ
  • データストレージ
  • LED
0.0015 µm 以上の粒子を除去する Linegard™ (ラインガード) Max FP インライン ガスフィルターは、中流量域の一般産業向けの費用効果の高い製品です。
継手サイズ
  • 6.35 mm (1/4")
  • 9.52 mm (3/8")
  • 12.7 mm (1/2")
継手タイプ
  • Swagelok®
  • VCR®オス
  • NPTメス
長さ
  • 112.7 mm
  • 117.9 mm
  • 118.7 mm
  • 127.0 mm
  • 148.0 mm
産業
  • データストレージ
  • フラットパネルディスプレイ
  • 半導体
  • LED
Wafergard® (ウェハーガード) ミニ XL インライン ガスフィルターは、0.003µmの粒子を高い除粒子精度でろ過可能なPTFEメンブレン製のガスフィルターです。
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