TDMAT
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主なアプリケーション:
- CVD
- ALD
仕様書
材料特性 | ||
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化学式: | Ti[N(CH3)2]4 | |
分子量: | 224.19 | |
密度: | 0.9467 g/mL @ 20°C | |
沸点: | 50°C @ 0.5 mm Hg | |
引火点 (密閉法): | -4°C | |
保存期間: | 2年 | |
純度分析 | ||
元素 | 仕様 [ppb] | 分析方法 |
アルミニウム | 25.000 | ICP-MS |
アンチモン | 5.000 | ICP-MS |
ヒ素 | 5.000 | ICP-MS |
バリウム | 10.000 | ICP-MS |
ベリリウム | 5.000 | ICP-MS |
ビスマス | 10.000 | ICP-MS |
カドミウム | 5.000 | ICP-MS |
カルシウム | 25.000 | ICP-MS |
クロム | 5.000 | ICP-MS |
コバルト | 5.000 | ICP-MS |
銅 | 12.500 | ICP-MS |
ガリウム | 5.000 | ICP-MS |
ゲルマニウム | 5.000 | ICP-MS |
金 | 5.000 | ICP-MS |
鉄 | 10.000 | ICP-MS |
鉛 | 5.000 | ICP-MS |
リチウム | 7.500 | ICP-MS |
マグネシウム | 10.000 | ICP-MS |
マンガン | 5.000 | ICP-MS |
水銀 | 5.000 | ICP-MS |
ニッケル | 10.000 | ICP-MS |
ニオブ | 5.000 | ICP-MS |
パラジウム | 5.000 | ICP-MS |
白金 | 5.000 | ICP-MS |
カリウム | 5.000 | ICP-MS |
銀 | 5.000 | ICP-MS |
ナトリウム | 25.000 | ICP-MS |
ストロンチウム | 12.500 | ICP-MS |
タンタル | 25.000 | ICP-MS |
トリウム | 5.000 | ICP-MS |
スズ | 5.000 | ICP-MS |
タングステン | 5.000 | ICP-MS |
ウラン | 5.000 | ICP-MS |
バナジウム | 5.000 | ICP-MS |
亜鉛 | 25.000 | ICP-MS |
ジルコニウム | 5.000 | ICP-MS |
パラメータ | 仕様 [%] | 分析方法 |
含有率 | 99.5 | NMR |
純度 | 99.9999 | ICP-MS |
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