Optimizer® Dフィルター
- フォトリソグラフィープロセスのフォトレジスト
- バルク薬液製造におけるプロセス用薬品
- 装置内、ディスペンスポイント
仕様書
材質 | メンブレン: | D、D300/D600、D PR/D PR-L:超高分子量ポリエチレン (UPE) (疎水性、対称膜) |
D LE:UPE (疎水性、非対称膜) | ||
コア: | D/D LE、D300/D600:高密度ポリエチレン (HDPE) | |
D PR/D PR-L:ポリプロピレン (PP) | ||
サポート: | D/D LE、D300/D600:HDPE | |
ハウジング: | D/D LE、D300/D600、D PR/D PR-L: HDPE | |
D PR/D PR-L:PP | ||
接続 | 入口/出口: | D/D LE、D300/D600、D PR/D PR-L:6.35 mm (1/4") コンプレッションシール |
D PR-L:9.53 mm (3/8") コンプレッションシール | ||
ベント/ドレン: | D/D LE、D PR/D PR-L:6.35 mm (1/4") コンプレッションシール | |
D300/D600:3.18 mm (1/8") コンプレッションシール | ||
膜面積 | D/D LE 10 nm: | 2600 cm2 |
D/D LE 20 nm: | 2200 cm2 | |
D/D LE 30 nm: | 1600 cm2 | |
D/D LE 0.05、0.1、0.2 µm: | ショートタイプ 1800 cm2 | |
ロングタイプ 3100 cm2 | ||
D/D LE 3、5、10 nm*: | ショートタイプ 2300 cm2 | |
ロングタイプ 4000 cm2 | ||
D300: | 300 cm2 | |
D600: | 600 cm2 | |
D PR: | 1800 cm2 | |
D PR 20 nm: | 2200 cm2 | |
D PR 30 nm: | 1900 cm2 | |
D PR-L: | 3600 cm2 | |
除粒子径 | D (対称膜): | 10、20、30 nm、0.05、0.1、0.2 µm |
D LE (非対称膜): | 3、5、10 nm | |
D300/D600: | 10、20 nm、0.05、0.1、0.2、0.5、1.0 µm | |
D PR/D PR-L: | 20、30 nm、0.05、0.1、0.2、0.5、1.0 µm | |
使用条件 | 最高使用圧力: | 0.34 MPa @ 25 °C |
最大許容正差圧/逆差圧: | D/D LE、D PR/D PR-L:0.27 MPa @ 25 °C | |
D300/D600:0.24 MPa @ 25 °C | ||
最高使用温度: | 60 °C | |
*10 nm は D LE のみ ※インテグリスは、最適なろ過性能を確保するために、少なくとも 1 年に 1 回のフィルター交換をお勧めしています。 定期的な交換は、過度な使用で生じる薬液リークの可能性を減少させます。 インテグリスの製品保証は出荷日から 1 年です。 |
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