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Fluorogard® (フロロガード) PE カートリッジ フィルターは、クリーンで汎用性のあるPTFE/HDPE製の薬液用フィルターです。
ブランド名
  • Fluorogard®
薬液
  • フォトレジスト
  • フォトケミカル
  • 溶剤
  • 非酸化薬品
微細加工の寸法(レイヤー)
  • 28 - 90 nm
  • > 90 nm
設置ポイント
  • 装置内
  • バルク
Fluorogard® (フロロガード) NX フィルターは、アウトガスが発生しない薬液、水溶液、酸・アルカリ、および最先端の溶剤に対応するクリーンでコスト効率に優れたフィルターです。
ブランド名
  • Fluorogard®
薬液
  • 反応性の高い酸
  • 反応性の高い塩基
  • 溶剤
微細加工の寸法(レイヤー)
  • 28 - 90 nm
  • > 90 nm
設置ポイント
  • 装置内
  • バルク
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