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  • 薬液
Fluorogard® (フロロガード) NX フィルターは、アウトガスが発生しない薬液、水溶液、酸・アルカリ、および最先端の溶剤に対応するクリーンでコスト効率に優れたフィルターです。
産業
  • 半導体
  • フラットパネルディスプレイ
  • データストレージ
  • LED
プロセス
  • ウェーハの洗浄・剥離
  • 基板 - Ni-Pメッキ
  • 基板 - IPA
  • メディア - IPA
  • メディア - 潤滑油
  • 薬液
  • 薬液供給
ブランド名
  • Fluorogard®
薬液
  • 反応性の高い酸
  • 反応性の高い塩基
  • 溶剤
Fluorogard® (フロロガード) PE カートリッジ フィルターは、クリーンで汎用性のあるPTFE/HDPE製の薬液用フィルターです。
産業
  • 半導体
  • データストレージ
  • フラットパネルディスプレイ
  • 薬液供給
プロセス
  • 薬液供給
  • 基板 - IPA
  • メディア - IPA
  • メディア - 潤滑油
ブランド名
  • Fluorogard®
薬液
  • フォトレジスト
  • フォトケミカル
  • 溶剤
  • 非酸化薬品
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