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Wafergard® (ウェハーガード) II SF 3XP インライン ガスフィルターは、超高純度ガス供給システムおよび半導体製造装置向けに開発された、オール316Lステンレススチール製のインラインガスフィルターです。 (この製品は製造中止予定です)
継手サイズ
  • 6.35 mm (1/4")
  • 12.7 mm (1/2")
継手タイプ
  • ガスケットシール
長さ
  • 84 mm (3.31")
  • 94 mm (3.70")
  • 126.9 mm (5.00")
  • 133.5 mm (5.26")
最大流量
  • 200 slpm
Wafergard® (ウェハーガード) II SF 3XP インライン ガスフィルターは、超高純度ガス供給システムおよび半導体製造装置向けに開発された、オール316Lステンレススチール製のインラインガスフィルターです。 (この製品は、製造中止の予定です。)
最大流量
  • 500 slpm
産業
  • 半導体
  • フラットパネルディスプレイ
  • データストレージ
  • LED
プロセス
  • バルクガス供給
  • フォトリソグラフィ
  • 成膜
  • ドライエッチング
  • イオン注入
Wafergard® (ウェハーガード) II SF マイクロ XL インライン ガスフィルターは、高純度ガスシステムに最適なフィルターです。最新式のハウジング構造により溶着部面積を最小化することでアウトガスを解消しました。このオールメタル構造は、高温環境や圧力変動のある環境のアプリケーションに理想的です。本フィルターは小型で継手の選択肢が豊富なため、設計効率を最大化し、エンジニアリングコストが削減できます。
長さ
  • 84.12 mm (3.31")
最大流量
  • 30 slpm
産業
  • 半導体
  • フラットパネルディスプレイ
  • データストレージ
  • LED
プロセス
  • バルクガス供給
  • フォトリソグラフィ
  • 成膜
  • ドライエッチング
  • イオン注入
Wafergard® (ウェハーガード) II SFインラインガスフィルターは、316Lステンレススチールの焼結フィルターメディアと316Lステンレススチールハウジングのみで構成されたオールメタルガスフィルターです。
産業
  • 半導体
  • フラットパネルディスプレイ
  • データストレージ
  • LED
プロセス
  • バルクガス供給
  • フォトリソグラフィ
  • 成膜
  • ドライエッチング
  • イオン注入
Wafergard® (ウェハーガード) II SFインラインガスフィルターは、316Lステンレススチールの焼結フィルターメディアと316Lステンレススチールハウジングのみで構成されたオールメタルガスフィルターです。
継手サイズ
  • 6.35 mm (1/4")
  • 12.7 mm (1/2")
  • 9.52 mm (3/8")
継手タイプ
  • ガスケットシール
  • 突き合わせ溶着チューブ
  • コンプレッションシール
長さ
  • 127 mm
  • 115.5 mm
  • 119.3 mm
  • 133.4 mm
最大流量
  • 100 slpm
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