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  • 汚染物質
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  • プロセス
GateKeeper® (ゲートキーパー) EXシリーズ ガス精製システム(GPS)は、高流量の使用点用H2(水素)パージガスを精製するコストオブオーナーシップに優れたガス精製システムです。
産業
  • 半導体
  • LED
プロセス
  • バルクガス供給
  • 成膜
  • エピタキシー
  • フォトリソグラフィ
GateKeeper® (ゲートキーパー) HXシリーズ ガス精製システム- 精製するガス: 水素(H2)、窒素(N2)またはアルゴン(Ar)。コストオブオーナーシップが小さい、定常流使用点水素ガス、窒素ガス、アルゴンガスです。
汚染物質
  • H2O
  • CO
  • CO2
  • O2
  • 非メタン炭化水素
ガス
  • H2
  • N2
  • Ar
最高使用圧力
  • 5.51 - 17.23 bar (80 - 250 psig)
最大流量
  • 311 slpm
  • 466 slpm
  • 776 slpm
  • 932 slpm
  • 6211 slpm
  • 7764 slpm
  • 9317 slpm
GateKeeper® (ゲートキーパー) SXシリーズ ガス精製システム(GPS)は、NH3ガスの使用点向けガス精製システムで、コストオブオーナーシップを低く抑えます。
産業
  • 半導体
  • LED
プロセス
  • エピタキシー
  • バルクガス供給
GateKeeper® (ゲートキーパー) Z2シリーズ ガス精製システムは、クリーンドライエア(CDA)向けのコストオブオーナーシップに優れた使用点用ガス精製システムです。
汚染物質
  • 揮発性酸
  • 揮発性塩基
  • 難燃性化合物
  • 凝縮性有機物
  • 水分
ガス
  • CDA
最高使用圧力
  • 5.51 - 17.23 bar (80 - 250 psig)
最大流量
  • 311 slpm
  • 466 slpm
  • 776 slpm
  • 932 slpm
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