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  • ブランド名
  • 薬液
  • 業種
  • プロセス
Planargard® (プレナガード) NMB フィルターは、マイクロスクラッチの発生を防ぐ、業界最高レベルのCMPスラリー用フィルターです。
ブランド名
  • Planargard®
薬液
  • スラリー
微細加工の寸法(レイヤー)
  • < 10 nm
  • 14 - 22 nm
  • 28 - 90 nm
  • > 90 nm
設置ポイント
  • バルク
ProcessGard® (プロセスガード) DSP フィルターは、データストレージ基板の研磨用に設計されたスラリーの装置および供給用フィルターです。
ブランド名
  • ProcessGard®
薬液
  • スラリー
微細加工の寸法(レイヤー)
  • N/A
設置ポイント
  • 装置内
  • 供給点
Savana® (サバンナ) MBV カートリッジ フィルターは、水処理やパーティクルの多いアプリケーションに最適なメルトブロータイプのフィルターです。
ブランド名
  • Savana®
設置ポイント
  • バルク
産業
  • データストレージ
  • フラットパネルディスプレイ
  • 水処理
プロセス
  • 基板 - 研磨
  • HGA/HSAアセンブリ - 洗浄
  • 薬液供給
  • 逆浸透膜前処理システム
  • 工業用水前処理
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