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  • ブランド名
  • 薬液
  • 業種
  • プロセス
汚染物質と金属イオンに対する高い除去性能と良好な流量性能を備える純水用装置内フィルター
ブランド名
  • Fluorogard®
薬液
  • 溶剤
  • 酸性水溶液
  • 塩基類
  • 洗剤
  • 純水
微細加工の寸法(レイヤー)
  • > 90 nm
設置ポイント
  • 装置内
  • バルク
Savana® (サバンナ) PP カートリッジ フィルターは、オールポリプロピレン製のサーフェイスタイプのフィルターです。
ブランド名
  • Savana®
薬液
  • 希釈酸
  • 希釈塩基
  • 溶剤
  • フォトケミカル
  • インク
微細加工の寸法(レイヤー)
  • N/A
設置ポイント
  • 装置内
ProcessGard® (プロセスガード) PES/PP/PS フィルターは、溶剤、純水、希釈酸・アルカリ用のフィルターです。
ブランド名
  • ProcessGard®
薬液
  • 希釈酸
  • 希釈塩基
  • レジスト剥離液
  • 溶剤
  • 純水
微細加工の寸法(レイヤー)
  • N/A
設置ポイント
  • 装置内
  • 供給点
Savana® PS Plus (サバンナ PS プラス)フィルターは、弱酸や弱塩基、純水向けの親水性ポリエーテルスルフォン製のフィルターです。
ブランド名
  • Savana®
薬液
  • 希釈酸
  • 希釈塩基
  • 純水
微細加工の寸法(レイヤー)
  • N/A
設置ポイント
  • 装置内
  • バルク
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