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インテグリスのVaporsorb™ WEC (ベーパーソーブWEC)ケミカルフィルターは、22nm以下における幅広い分子状汚染物質に対する優れた保護を実現します。
産業
  • 半導体
プロセス
  • ウェーハの洗浄・剥離
汚染物質
  • 酸類
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