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Planargem® (プレナジェム) CMP パッドコンディショナーのコンフォーマルCVDダイヤモンドコーティングを施した微細加工済みSiC基板は長寿命で、基板への損傷を最小限にしながら均一性に優れたパッドコンディショニングが可能です。
コンディショナーの反応性
  • 緩やか
  • やや速い
  • 速い
カットレート
  • 5 µm/h
  • 12 µm/h
  • 20 µm/h
  • 40 µm/h
  • 60 µm/h
  • ~75 µm/h
産業
  • 半導体
プロセス
  • CMP
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