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  • プロセス
高純度で自動切り替えができるガス供給システムです。PDS供給システムは、使用中のソースシリンダーが空になった場合でも定常流プロセスガスを供給します。
ガス
  • 濃縮BF3
システムの種類
  • 正圧で供給 @100 psig
  • 負圧で供給(SAGSタイプII)
産業
  • 半導体
プロセス
  • プラズマ浸漬ドーピング
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