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Available with 1/4” port connections, the SRD2 Series dome loaded pressure regulator is small and compact. All PFA and PTFE wetted parts make these regulators suitable for high-purity chemical handling applications. (日本では、圧力レギュレータの販売は行っておりません)
流量
  • 10 - 2000 mL/min
パイロットポート
  • 3.18 mm (1/8") NPTメス
産業
  • 半導体
  • LED
  • フラットパネルディスプレイ
プロセス
  • ウェーハの洗浄・剥離
  • CMP
  • 薬液供給
  • CMP
  • フォトリソグラフィ
  • 基板洗浄
  • 基板 - IPA
  • 基板 - 研磨
  • メディア - 洗浄
  • メディア - IPA
  • HDDアセンブリ - 洗浄
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  • 磁気ヘッド - ウェーハの洗浄・剥離
  • 磁気ヘッド - CMP
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  • 薬液供給
  • リソグラフィ
  • 洗浄
Available with 3/8” and 1/2” port connections, the SRD4 Series dome loaded pressure regulator is small and compact. All PFA and PTFE wetted parts make these regulators suitable for high-purity chemical handling applications. (日本では、圧力レギュレータの販売は行っておりません)
流量
  • 1 - 10 L/min
  • 1 - 15 L/min
パイロットポート
  • 3.18 mm (1/8") NPTメス
産業
  • 半導体
  • LED
  • フラットパネルディスプレイ
プロセス
  • ウェーハの洗浄・剥離
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