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Fluoroline™ DF Plus (フロロライン DF プラス) ディスポーザブル フィルターは、液晶滴下(ODF)向けのクリーンな供給点用フィルターです。
ブランド名
  • Fluoroline™
薬液
  • 液晶
微細加工の寸法(レイヤー)
  • > 90 nm
設置ポイント
  • 供給点
Fluoroline™ (フロロライン) S ディスポーザブル フィルターは、オールフッ素樹脂製の少量ろ過用のディスポーザブルフィルターです。
ブランド名
  • Fluoroline™
薬液
  • フォトケミカル
  • 溶剤
  • 反応性の高い酸
  • 反応性の高い塩基
  • 希釈酸
  • 希釈塩基
微細加工の寸法(レイヤー)
  • > 90 nm
設置ポイント
  • 供給点
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