CH8シリーズ高温用空圧式バルブ、1/2"オリフィス、二方弁、ノーマリーオープン、チューブ
注:
- 構成によっては不可能な場合があります。複数の特注機能が必要な場合は、お問い合わせください。
- フッ素系界面活性剤を含む薬液でスペースセーバータイプのポート接続を使用する場合は、お問い合わせください。
- 日本ではスーパー300タイプピラー仕様のバルブの取り扱いはありません。
- 高温、高純度、および腐食性の薬液
- 高温の硫酸やリン酸を使用するフォトレジスト剥離
- 洗浄・剥離プロセス用薬液
- 薬液ラインサイズ: 6.35 mm (1/4")および12.7 mm (1/2")パイプ、12.7 mm (1/2")および19.05 mm (3/4")チューブ
仕様書
ポート接続 | 流量係数CV | 流量係数KV | 寸法 | ||
A | B | C | |||
1/4" ピュアボンド1 | 1.8 | 25.7 | 120.9 mm1 | 17.5 mm | 100.8 mm |
12.7 mm (1/2") スーパー300タイプピラー継手 | 2.4 | 34.3 | 103.1 mm | 17.5 mm | 100.8 mm |
12.7 mm (1/2") プライムロック | 2.4 | 34.3 | 107.2 mm | 17.5 mm | 100.8 mm |
1/2" ピュアボンド1 | 3.2 | 45.7 | 120.9 mm1 | 23.9 mm | 107.2 mm |
19.05 mm (3/4") スーパー300タイプピラー継手 | 3.4 | 48.6 | 112.8 mm | 23.9 mm | 107.2 mm |
19.05 mm (3/4") プライムロック | 3.4 | 48.6 | 120.9 mm | 23.9 mm | 107.2 mm |
1パイロットポートがチューブ仕様で薬液側の接続が標準以下の長さのピュアボンドのCH8バルブは、パイロットポートを回転させることをお勧めします。パイロットポートの向きについては、お問い合わせください。
ポジションセンサーオプション(上の5番目の図面に記載)
バルブの開閉状態を電気的に監視するポジションセンサーもあります。
注: ポジションセンサーを使用する場合は、Omron®センサーが取り付けられるバルブの型番(-OM)を注文してください。さらに、オムロン社製のポジションセンサー (オムロン社型番EE-SX771RまたはEE-SX771A) も必要となります。
開位置/閉位置 流量調整 (上の6番目の図面に記載)
注: 高さ寸法は開状態のステムを含みます。
- 開位置流量調整を使用すると、空圧式制御バルブの開行程の可変リミットを手動調整可能
- 閉位置流量調整を使用すると、空圧式制御バルブの閉行程の可変リミットを手動調整可能
- 両オプションは、ノーマリークローズとノーマリーオープンの空圧式で提供
材質: | |||
すべての接液部 | PFA、PTFE | ||
外部アクチュエータ部品 | PVDF、フッ素ゴム | ||
内部アクチュエータ部品 | PVDF、SST、フッ素ゴム、PTFE | ||
取り付け用ベース | PVDF | ||
使用条件: | |||
最高使用圧力 | 21°C | 入口/出口 | 91.3 - 552 kPa2 |
200°C | 入口/出口 | 206.9 kPa2 | |
エア供給圧 | 414 - 552 kPa2 | ||
温度範囲 | 周囲温度 | 21 - 50°C | |
流体温度 | 21 - 200°C3 | ||
エア供給ポート: | 6.35 mm (1/4")チューブ | ||
環境に関する適合規格: | RoHs、WEEE |
2実際のバルブ性能は圧力と温度によって異なります。性能データの実際の数値を参照してください。
3使用圧力255 kPa、温度220°C、100万回の繰り返し加圧試験済みです(プライムロックおよびピュアボンドの構成のみ)。
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