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Wafergard® (ウェハーガード) 1.5" W-Sealミニ 集積ガスフィルターは、業界最高水準の集積タイプのガスフィルターです。
継手タイプ
  • ステンレス
  • ニッケル
長さ
  • 62 mm (2.44")
  • 27.80 mm (1.09")
産業
  • 半導体
プロセス
  • バルクガス供給
  • 成膜
  • ドライエッチング
  • イオン注入
  • フォトリソグラフィ
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