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SEMICON® West 2017
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グラファイトの外層はSiCに部分的に変換されています。グラファイトを750 µmのSUPERSiC®含浸層でコーティングしています。
見かけ密度、g/cm3
  • 3.13 (0.113)
かさ密度、g/cm3
  • 2.18 (0.079)
曲げ強度、MPa
  • 69 (10,000)
熱伝導率、W/m-K
  • 88 (51)
グラファイトの外層はSiCに部分的に変換されています。グラファイトを225 µmのSUPERSiC含浸層でコーティングしています。
見かけ密度、g/cm3
  • 3.13 (0.113)
かさ密度、g/cm3
  • 2.07 (0.075)
曲げ強度、MPa
  • 96 (14,000)
熱伝導率、W/m-K
  • 130 (75)
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