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SEMICON® West 2017
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  • 製品の種類
ウェーハ SMIF ポッドには、従来のウェーハキャリアと保管用ボックスを上回る性能上の大きな利点があります。
製品の種類
  • ウェーハ/SMIF隔離ポッド
ウェーハ収容枚数
  • 25
  • 26
側壁クローズタイプの高性能キャリアです。インテグリスのウェーハキャリアは、従来のローレンジやミッドレンジのウェーハキャリアに比べて、性能上の大きな利点があります。
製品の種類
  • 搬送用ウェーハキャリア
  • プロセス用ウェーハキャリア
  • ウェーハ/SMIF隔離ポッド
  • メンテナンスキットまたはアクセサリ
  • プロセスの改善
  • SMIFポッド
  • ドア用アセンブリ
  • 保管/WIP用ボックス
ウェーハ収容枚数
  • 25
  • 26
優れた構造設計とアウトガス性能を備え、ミニエンの制御に優れています。
製品の種類
  • SMIFポッド
ウェーハ収容枚数
  • 25
  • 25/26
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