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Wafergard® C-Seal(ウェハーガード C-シール) 集積フィルターは、超高純度でフットプリントを大幅に削減する最高クラスのオールメタル製集積フィルターです。
産業
  • 半導体
プロセス
  • バルクガス供給
  • 成膜
  • ドライエッチング
  • イオン注入
  • フォトリソグラフィ
継手サイズ
  • 28.58 mm (1.125")
継手タイプ
  • ステンレス
  • ニッケル
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