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GateKeeper® (ゲートキーパー) HXシリーズ ガス精製システム- 精製するガス: 水素(H2)、窒素(N2)またはアルゴン(Ar)。コストオブオーナーシップが小さい、定常流使用点水素ガス、窒素ガス、アルゴンガスです。
産業
  • 半導体
  • LED
プロセス
  • バルクガス供給
  • エピタキシー
汚染物質
  • H2O
  • CO
  • CO2
  • O2
  • 非メタン炭化水素
ガス
  • H2
  • N2
  • Ar
GateKeeper® (ゲートキーパー) SXシリーズ ガス精製システム(GPS)は、NH3ガスの使用点向けガス精製システムで、コストオブオーナーシップを低く抑えます。
産業
  • 半導体
  • LED
プロセス
  • エピタキシー
  • バルクガス供給
GateKeeper® (ゲートキーパー) Z2シリーズ ガス精製システムは、クリーンドライエア(CDA)向けのコストオブオーナーシップに優れた使用点用ガス精製システムです。
産業
  • 半導体
  • 太陽電池
プロセス
  • バルクガス供給
  • C-シリコン
  • 薄膜
  • フォトリソグラフィ
汚染物質
  • 揮発性酸
  • 揮発性塩基
  • 難燃性化合物
  • 凝縮性有機物
  • 水分
ガス
  • CDA
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