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  • プロセス
GateKeeper® (ケートキーパー) GPU ガス ピューリファイヤーは、純度の安定性、ライフタイム、最終純度を改善します。
汚染物質
  • H2O
  • CO2
  • O2
  • CO
  • H2
  • CxHy (45 - 100 amu)
  • CxHy (> 100 amu)
  • 難燃性化合物
  • 凝縮性有機物
  • 非凝縮性有機物
  • 揮発性酸
  • 揮発性塩基
流体
  • EX
  • HX
  • IX
  • TX
  • WX
  • OP
最高使用圧力
  • 13790 kPa (2000 psig)
  • 4826 kPa (700 psig)
  • 3482 kPa (505 psig)
  • 13790 kPa (2000 psig)
  • 6895 kPa (1000 psig)
  • 3034 kPa (440 psig)
最大流量
  • 1000 - 1500 slpm
  • 2000 - 2500 slpm
  • 0.5 - 1 slpm
  • 5 - 10 slpm
  • 20 - 50 slpm
  • 75 - 120 slpm
  • 300 - 500 slpm
  • 800 slpm
GateKeeper® (ゲートキーパー) HXシリーズは、H2ガス、N2ガス、希ガス向けの使用点用ガスピューリファイヤーです。
汚染物質
  • H2O
  • O2
  • CO
  • CO2
  • H2 (H2はN2および希ガスからのみ除去)
最高使用圧力
  • 3135 kPa (440 psig)
  • 3583 kPa (505 psig)
  • 4928 kPa (700 psig)
  • 6996 kPa (1000 psig)
  • 20096 kPa (2900 psig)
最大流量
  • 3 - 20 slpm
  • 50 - 120 slpm
  • 300 - 1500 slpm
  • 2000 - 2500 slpm
産業
  • 半導体
  • LED
GateKeeper® (ゲートキーパー) 不活性ガス用ピューリファイヤーは、N2、He、Ne、Kr、Xe、Ar、ハロカーボン、ライトハイドロカーボン用のインライン型精製器です。
汚染物質
  • O2
  • H2
  • CO
  • CO2
  • H2O
  • SO2
流体
  • ニッケル金属/金属酸化物
最高使用圧力
  • 1724 kPa (250 psig)
  • 1379 kPa (200 psig)
  • 3583 kPa (505 psig)
  • 4826 kPa (700 psig)
  • 6895 kPa (1000 psig)
  • 19995 kPa (2900 psig)
最大流量
  • 1 - 3 slpm
  • 20 - 60 slpm
  • 120 - 500 slpm
  • 1000 - 20
  • 000 slpm
GateKeeper® (ゲートキーパー) 200M 原材料ガス ピューリファイヤーは、設備での精製だけでなく、インテグリスのAGPS自動再生型精製システムやその他の原材料ガス精製システムのバックアップとしても最適です。
汚染物質
  • H2O
  • CO2
  • CO
  • O2
  • H2
  • H2S
  • NOx
  • NH3
  • NMHC
  • SO2
流体
  • ニッケル金属
  • 無機物
最高使用圧力
  • 1379 kPa (200 psig)
最大流量
  • 20
  • 000 slpm
GateKeeper® (ゲートキーパー) 光学系パージガス用 ガスピューリファイヤーは、低流量~高流量向けのクリーンドライエア(CDA)向けのガス精製器です。
汚染物質
  • H2O
  • 揮発性塩基
  • 揮発性酸
  • 凝縮性有機物
  • 難燃性化合物
流体
  • 無機物
最高使用圧力
  • 1379 kPa (200 psig)
  • 1724 kPa (250 psig)
  • 4826 kPa (700 psig)
  • 19995 kPa (2900 psig)
最大流量
  • 3 - 120 slpm
  • 500 - 20
  • 000 slpm
GateKeeper®(ゲートキーパー)腐食性ガス用(C-HCl)は、優れたガス純度を実現します。
汚染物質
  • H2O
  • N2
  • HCl
ガス
  • HCl
  • Cl2
  • DCT
  • TCS
最高使用圧力
  • 1828 kPa (250 psig)
  • 3135 kPa (440 psig)
  • 3583 kPa (505 psig)
  • 20096 kPa (2900 psig)
最大流量
  • 1 - 10 slpm
  • 20 - 120 slpm
  • 300 - 500 slpm
  • 1000 - 2500 slpm
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