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Pegasus™ 100 (ペガサス100)シリーズコーティングは、フッ素プラズマエッチングアプリケーション専用の精密加工PVDコーティングです。
産業
  • 半導体
プロセス
  • イオン注入
  • 成膜
  • ドライエッチング
コーティング厚
  • 最大10 µm
耐腐食性
  • フッ素環境
Pegasus™500 (ペガサス500)シリーズコーティングは、フッ素エッチングへの耐性に極めて優れた透明なコーティングで、半導体製造環境に理想的です。
産業
  • 半導体
  • ソーラー/PV
プロセス
  • イオン注入
  • 成膜
  • ドライエッチング
コーティング厚
  • 最大10 µm
耐腐食性
  • フッ素および塩素環境
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