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装置内フィルターハウジングヘッド(コンポーネント)
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ブランド名
  • Chemlock®
薬液
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Chemlock® (ケムロック) PFA ハウジングは、省メンテナンススペースでカートリッジフィルターの着脱が容易な接液部がオールPFAのハウジングです。
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  • 希釈酸
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Chemlock® (ケムロック) PP ハウジングは、省メンテナンススペースでカートリッジフィルターの着脱が容易な接液部がポリプロピレンのハウジングです。
産業
  • 半導体
  • フラットパネルディスプレイ
  • データストレージ
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プロセス
  • ウェーハの洗浄・剥離
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