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スキャナー光学機器とフォトレジストの高度な保護を提供するSilverSet® (シルバーセット) ケミカルフィルターシステムは、248nm、193nmのドライおよび液浸用スキャナーのレンズに対応します。
産業
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プロセス
  • フォトリソグラフィ
  • 磁気ヘッド - フォトリソグラフィ
  • リソグラフィ
汚染物質
  • 酸類
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VaporSorb™CSP-32 (ベーパーソーブCPS-32) ケミカルフィルターは、露光装置の光学機器とフォトレジストに対する先進的な保護を実現します。
産業
  • 半導体
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プロセス
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  • 磁気ヘッド - フォトリソグラフィ
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汚染物質
  • 酸類
  • 塩基、有機物
LMWSi有機化合物に対する保護性能を高めたインテグリスのスキャナープレフィルターシステムは、スキャナーの光学機器を保護し、装置のスキャナーフィルターの寿命を延ばします。
産業
  • 半導体
  • データストレージ
  • LED
プロセス
  • フォトリソグラフィ
  • 磁気ヘッド - フォトリソグラフィ
  • リソグラフィ
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