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0.003µmの粒子除去性能を持つPTFEメンブレン製の Linegard™ (ラインガード) MAX-FP インライン ガス フィルターは、一般的なアプリケーション用の中流量レンジ向けのコスト効率に優れたソリューションです。
産業
  • 半導体
  • フラットパネルディスプレイ
  • データストレージ
  • LED
プロセス
  • バルクガス供給
  • 成膜
  • ドライエッチング
  • イオン注入
継手サイズ
  • 6.35 mm (1/4")
  • 9.52 mm (3/8")
  • 12.7 mm (1/2")
継手タイプ
  • Swagelok®
  • VCR®オス
  • NPTメス
高純度ガスアプリケーション向けに優れた粒子除去性能を発揮するWafergard® MAX (ウェハーガード マックス) インライン ガスフィルターは、高純度ガスアプリケーション向けの業界最高水準のフィルターです。
産業
  • 半導体
  • フラットパネルディスプレイ
  • データストレージ
  • LED
プロセス
  • バルクガス供給
  • 成膜
  • ドライエッチング
  • イオン注入
  • フォトリソグラフィ
継手サイズ
  • 6.35 mm (1/4")
  • 9.52 mm (3/8")
  • 12.7 mm (1/2")
継手タイプ
  • VCR®オス
  • Swagelok®
  • 突き合わせ溶着チューブ
Wafergard® (ウェハーガード) GTL インライン ガスフィルターは、推奨流量 80SLPM の不活性ガス用フィルターです。
産業
  • 半導体
  • フラットパネルディスプレイ
  • データストレージ
  • LED
プロセス
  • バルクガス供給
  • フォトリソグラフィ
  • 成膜
  • ドライエッチング
  • イオン注入
継手サイズ
  • RC 1/4
  • 6.35 mm (1/4")
継手タイプ
  • PTメス
  • NPTメス
Linegard™GIGAX-FP (ラインガード ギガックス-FP) フィルターは、一般的なアプリケーション用の高流量レンジ向けのコスト効率に優れた圧縮空気および不活性ガス用のインラインガスフィルターです。
産業
  • 半導体
  • フラットパネルディスプレイ
  • データストレージ
  • LED
プロセス
  • バルクガス供給
  • 成膜
  • ドライエッチング
  • イオン注入
  • フォトリソグラフィ
継手サイズ
  • 12.7 mm (1/2")
  • 19.05 mm (3/4")
継手タイプ
  • ガスケットシール
  • コンプレッションシール
  • 突き合わせ溶着
不活性ガスと反応性ガスに最適な Wafergard® (ウェハーガード) II F マイクロ インライン ガスフィルターは、あらゆるグレードの半導体プロセスガスに使用可能で、高純度ガスシステムにおいて優れた粒子除去性能を発揮します。
産業
  • 半導体
  • フラットパネルディスプレイ
  • データストレージ
  • LED
プロセス
  • バルクガス供給
  • 成膜
  • ドライエッチング
  • イオン注入
  • フォトリソグラフィ
継手サイズ
  • 6.35 mm (1/4")
継手タイプ
  • ガスケットシール
  • 突き合わせ溶着チューブ
Wafergard®GT-Plus (ウェハーガード GT-プラス) インライン ガス フィルターは、推奨流量 30L/min の不活性ガス用フィルターです。
産業
  • 半導体
  • フラットパネルディスプレイ
  • データストレージ
  • LED
プロセス
  • バルクガス供給
  • フォトリソグラフィ
  • 成膜
  • ドライエッチング
  • イオン注入
継手サイズ
  • 6.35 mm (1/4")
  • 3.18 mm (1/8")
継手タイプ
  • コンプレッションシール
Wafergard® (ウェハーガード) SG YYシリーズ ガスフィルターは、太陽光発電デバイスおよびフラットパネルディスプレイの真空プロセスに適した高性能ガスフィルターです。
産業
  • 半導体
  • フラットパネルディスプレイ
  • データストレージ
  • LED
プロセス
  • バルクガス供給
  • C-シリコン
  • 薄膜
  • 成膜
  • ドライエッチング
  • イオン注入
  • フォトリソグラフィ
継手サイズ
  • 6.35 mm (1/4")
  • 9.52 mm (3/8")
継手タイプ
  • コンプレッションシール
  • ガスケットシール
  • NPT
Wafergard® (ウェハーガード) II F-40ガスフィルターは、PTFEメンブレンとECTFE製のディスクサポートで構成された中~大流量域用のインラインガスフィルターです。
産業
  • 半導体
  • フラットパネルディスプレイ
  • データストレージ
  • LED
プロセス
  • バルクガス供給
  • フォトリソグラフィ
  • 成膜
  • ドライエッチング
  • イオン注入
継手サイズ
  • 12.7 mm (1/2")
  • 19.05 mm (3/4")
  • 9.52 mm (3/8")
継手タイプ
  • ガスケットシール
  • 突き合わせ溶着チューブ
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