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SEMICON® West 2017
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  • ガス
  • 業種
TX-4™ガスキャビネットは、半導体向けの毒性の強いガスを安全に供給できるように設計されています。この製品のマニホールドは圧力損失が最小になるように設計されており、ホスフィン、アルシン、ゲルマンを負圧のガスソースから効率よく供給することができます。
ガス
  • AsH3
  • Ph3
システムの種類
  • 負圧で保管、供給(SAGSタイプI)
産業
  • 半導体
プロセス
  • 成膜
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