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インテグリスの高純度シリコンカーバイドコーティング、SilicoMax™の詳細をご確認ください。業界をリードするPECVDコーティング技術ソリューション
コーティング厚
  • 2 - 3 nmレベルから60 µm超
耐腐食性
  • 酸とアルカリを含む水溶液
電気抵抗率
  • ~108 Ω-cm
硬度
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インテグリスの非常に高い硬度を備えたダイヤモンドライクカーボン(DLC)コーティング、UltraC™ダイヤモンドの詳細をご確認ください。業界をリードするPECVDコーティング技術ソリューション
コーティング厚
  • 1 - 10 µm
耐腐食性
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電気抵抗率
  • 105 - 107 Ω-cm
硬度
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業界をリードするインテグリスの超高純度シリコンコーティング(純度99.9995%、コンタミネーションコントロール用途)におけるPECVDコーティング技術ソリューション
コーティング厚
  • 2 - 3 nmレベルから150 µm超
耐腐食性
  • 酸とアルカリを含む水溶液
電気抵抗率
  • 108 - 109 Ω-cm
硬度
  • 2453 - 2855 HV (24 - 28 GPa)
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