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VaporSorb™MET (ベーパーソーブMET) ケミカルフィルターは、22nm 以下における幅広い分子状汚染物質に対する優れた保護を実現します。
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VaporSorb™II (ベーパーソーブII) ケミカルフィルターは、さまざまなTMB (Total Molecular Base) に対する保護を実現します。
産業
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プロセス
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汚染物質
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VaporSorb™II ABC (ベーパーソーブII ABC) リソグラフィ トラック ケミカルフィルターは、東京エレクトロン社製のリソグラフィ用装置において酸、アミン、凝縮性有機物に対する優れた保護を提供します。
産業
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汚染物質
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VaporSorb™II AB (ベーパーソーブII AB) リソグラフィトラックフィルターは、東京エレクトロン社製のリソグラフィ用装置において酸、アミン系汚染物質に対する優れた保護を提供します。
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