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NT™比例制御バルブ、モデル6300 (最大Cv値2.8)は、極めて高純度のアプリケーション向けに開発されました。高腐食性のプロセスに対応し、CMPスラリーアプリケーション向けに設計されています。
流量係数
  • £ 2.8
産業
  • 半導体
プロセス
  • 薬液供給
  • CMP
  • フォトリソグラフィ
  • ウェーハ製造
  • ウェーハの洗浄・剥離
The NT™ Proportional Control Valve, Model 6300 Cv 5.6 - 10 is developed for use in ultra high-purity applications. Compatible with highly corrosive processes and designed for use in CMP slurry applications.
流量係数
  • > 2.8
産業
  • 半導体
プロセス
  • 薬液供給
  • CMP
  • フォトリソグラフィ
  • ウェーハ製造
  • ウェーハの洗浄・剥離
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