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SEMICON® West 2017
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Planarcap® (プレナキャップ) NMB フィルターは、マイクロスクラッチの発生を防ぐ、業界最高レベルのCMPスラリー用供給点フィルターです。
産業
  • 半導体
プロセス
  • CMP
ブランド名
  • Planarcap®
薬液
  • スラリー
Intercept® (インターセプト) HP / HS フィルターは、 業界最高レベルの希釈酸(常温)用フィルターです。
産業
  • 半導体
  • 太陽電池
プロセス
  • ウェーハの洗浄・剥離
  • 薬液供給
  • C-シリコン
ブランド名
  • Intercept®
薬液
  • 希釈酸
Planargard® (プレナガード) NMB フィルターは、マイクロスクラッチの発生を防ぐ、業界最高レベルのCMPスラリー用フィルターです。
産業
  • 半導体
  • データストレージ
プロセス
  • CMP
  • 基板 - 研磨
  • 磁気ヘッド - CMP
ブランド名
  • Planargard®
薬液
  • スラリー
Planarcap® (プレナキャップ) KPX フィルターは、マイクロスクラッチの発生を防ぐCMPスラリー用供給点フィルターです。
産業
  • 半導体
プロセス
  • CMP
ブランド名
  • Planarcap®
薬液
  • スラリー
Planarcap® (プレナキャップ) TPX フィルターは、マイクロスクラッチの発生を防ぐCMPスラリー用供給点フィルターです。
産業
  • 半導体
プロセス
  • CMP
ブランド名
  • Planarcap®
薬液
  • スラリー
Planargard® (プレナガード) CL フィルターは、65 nm 以上のテクノロジーノードにおいて、マイクロスクラッチの発生を防ぐCMPスラリー用フィルターです。
産業
  • 半導体
  • 太陽電池
プロセス
  • CMP
  • C-シリコン
  • 薄膜
ブランド名
  • Planargard®
薬液
  • スラリー
Solaris® (ソラリス) CL フィルターは、110nmのテクノロジーノードにおいて、マイクロスクラッチの発生を防ぐCMPスラリー向け使用点用フィルターです。
産業
  • 半導体
プロセス
  • CMP
ブランド名
  • Solaris®
薬液
  • スラリー
CMPスラリーの使用点向けフィルターであるSolaris®(ソラリス)フィルター用のマニホールドです。フィルター交換が簡単に行えます。
産業
  • 半導体
プロセス
  • CMP
ブランド名
  • Solaris®
薬液
  • スラリー
Solaris® (ソラリス) NMB フィルターは、 サブ45nmのテクノロジーノードにおいて、 マイクロスクラッチの発生を防ぐ業界最高レベルの CMPスラリー用フィルターです。
産業
  • 半導体
プロセス
  • CMP
ブランド名
  • Solaris®
薬液
  • スラリー
Solaris® (ソラリス) CM フィルターは、65nm以上のテクノロジーノードにおいて、マイクロスクラッチの発生を防ぐCMPスラリー向け使用点用フィルターです。
産業
  • 半導体
プロセス
  • CMP
ブランド名
  • Solaris®
薬液
  • スラリー
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