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SEMICON® West 2017
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  • ブランド名
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Planarcap® (プレナキャップ) NMB フィルターは、マイクロスクラッチの発生を防ぐ、業界最高レベルのCMPスラリー用供給点フィルターです。
ブランド名
  • Planarcap®
薬液
  • スラリー
微細加工の寸法(レイヤー)
  • < 10 nm
  • 14 - 22 nm
  • 28 - 90 nm
  • > 90 nm
設置ポイント
  • 供給点
Intercept® (インターセプト) HP / HS フィルターは、 業界最高レベルの希釈酸(常温)用フィルターです。
ブランド名
  • Intercept®
薬液
  • 希釈酸
微細加工の寸法(レイヤー)
  • 14 - 22 nm
  • 28 - 90 nm
  • > 90 nm
設置ポイント
  • 装置内
Planargard® (プレナガード) NMB フィルターは、マイクロスクラッチの発生を防ぐ、業界最高レベルのCMPスラリー用フィルターです。
ブランド名
  • Planargard®
薬液
  • スラリー
微細加工の寸法(レイヤー)
  • < 10 nm
  • 14 - 22 nm
  • 28 - 90 nm
  • > 90 nm
設置ポイント
  • バルク
Planarcap® (プレナキャップ) KPX フィルターは、マイクロスクラッチの発生を防ぐCMPスラリー用供給点フィルターです。
ブランド名
  • Planarcap®
薬液
  • スラリー
微細加工の寸法(レイヤー)
  • > 90 nm
設置ポイント
  • 供給点
Planargard® (プレナガード) CL フィルターは、65 nm 以上のテクノロジーノードにおいて、マイクロスクラッチの発生を防ぐCMPスラリー用フィルターです。
ブランド名
  • Planargard®
薬液
  • スラリー
微細加工の寸法(レイヤー)
  • 28 - 90 nm
  • > 90 nm
設置ポイント
  • バルク
Planarcap® (プレナキャップ) TPX フィルターは、マイクロスクラッチの発生を防ぐCMPスラリー用供給点フィルターです。
ブランド名
  • Planarcap®
薬液
  • スラリー
微細加工の寸法(レイヤー)
  • 28 - 90 nm
  • > 90 nm
設置ポイント
  • 供給点
Solaris® (ソラリス) CL フィルターは、110nmのテクノロジーノードにおいて、マイクロスクラッチの発生を防ぐCMPスラリー向け使用点用フィルターです。
ブランド名
  • Solaris®
薬液
  • スラリー
微細加工の寸法(レイヤー)
  • 28 - 90 nm
  • > 90 nm
設置ポイント
  • 装置内
CMPスラリーの使用点向けフィルターであるSolaris®(ソラリス)フィルター用のマニホールドです。フィルター交換が簡単に行えます。
ブランド名
  • Solaris®
薬液
  • スラリー
微細加工の寸法(レイヤー)
  • < 10 nm
  • 14 - 22 nm
  • 28 - 90 nm
  • > 90 nm
設置ポイント
  • 装置内
Solaris® (ソラリス) NMB フィルターは、 サブ45nmのテクノロジーノードにおいて、 マイクロスクラッチの発生を防ぐ業界最高レベルの CMPスラリー用フィルターです。
ブランド名
  • Solaris®
薬液
  • スラリー
微細加工の寸法(レイヤー)
  • < 10 nm
  • 14 - 22 nm
  • 28 - 90 nm
  • > 90 nm
設置ポイント
  • 装置内
Solaris® (ソラリス) CM フィルターは、65nm以上のテクノロジーノードにおいて、マイクロスクラッチの発生を防ぐCMPスラリー向け使用点用フィルターです。
ブランド名
  • Solaris®
薬液
  • スラリー
微細加工の寸法(レイヤー)
  • > 90 nm
設置ポイント
  • 装置内
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