20X シリーズ 200 mm ウェーハ搬送用キャリア
- 工程内搬送
- 装置互換性
- ウェーハの安全な保管
仕様書
D1 寸法 | 25.4 mm (キャリアに依る) |
ポケットピッチ | 6.35 mm (キャリアに依る) |
ポケットフラット | 1.7 mm* (キャリアに依る) |
* ポケットフラットはキャリアによっては異なる場合があります。詳しくはお問い合わせください。
識別オプション
次のような、さまざまなキャリア識別用オプションがあります。
- バーコードラベル
- RFID タグ
- レーザーマーキング
- 色付きの ID タグ
- カードホルダー
用途に応じた識別方法についてはお問い合わせください。
ウェーハ収容枚数 | XT205-0100 キャリア : 26 枚 |
その他のキャリア:25 枚 | |
K213:13 枚 | |
ピンとホール | 特に記載がない限り、トップレール上にあります |
位置決め用中央ノッチ | 13 番目ポケット中央の脚部 |
キャリア側壁 | あり |
適合保管用ボックス | XT205-0100 キャリア:E210 保管用ボックス |
その他のキャリア:E99、E210、HA200 保管用ボックス |
材料の仕様
STAT-PRO (スタットプロ) 9000 | 次世代の先端ウェーハ搬送用キャリア材料 | |
ポリエーテルエーテルケトン (PEEK) とカーボンナノチューブ (CNT) と混合した帯電防止材料 | ||
最高使用温度 | 連続使用:120 °C | |
ウェーハ温度:340 °C | ||
スタットプロ 3000 | 先端ウェーハ搬送用キャリア材料 | |
PEEK とカーボンファイバー (CF) を混合した帯電防止材料 | ||
最高使用温度 | 連続使用:120 °C | |
ウェーハ温度:340 °C | ||
スタットプロ 100 | ウェーハ搬送用キャリア材料 | |
ポリプロピレン (PP) とカーボンパウダー (CP) を混合した帯電防止材料 | ||
最高使用温度 | 連続使用:55 °C | |
ウェーハ温度:70 °C | ||
EMSTAT (エムスタット) PY | ウェーハ搬送用キャリア材料 | |
PEEK とカーボンファイバー (CF) を混合した帯電防止材料 | ||
最高使用温度 | 連続使用:120 °C | |
ウェーハ温度:340 °C | ||
エムスタット AR+ | ウェーハ搬送用キャリア材料 | |
ポリプロピレン (PP)、カーボンパウダー (CP)、PTFE を混合した帯電防止材料 | ||
最高使用温度 | 連続使用:55 °C | |
ウェーハ温度:70 °C | ||
エムスタット AR | ウェーハ搬送用キャリア材料 | |
ポリプロピレン (PP)とカーボンファイバーを混合した帯電防止材料 | ||
最高使用温度 | 連続使用:55 °C | |
ウェーハ温度:70 °C | ||
青色ポリプロピレン | ウェーハ搬送用キャリア材料 | |
着色したポリプロピレン | ||
最高使用温度 | 連続使用:55 °C | |
ウェーハ温度:70 °C |
ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました
Cassette Molded Options
Carrier ID Option
型番 | ウェーハ収容枚数 | エンドウォールハンドルタイプ | 色 | RFID | 材質 | エンドウォール フランジタイプ | ピンとホール |
---|---|---|---|---|---|---|---|
K213-80SHH-97C02 | 13 | 標準、ハイポジション | 黒 | なし | STAT-PRO® 9000 | 標準 | あり |
K213-80SHHR1-97C02 | 13 | 標準、ハイポジション | 黒 | あり | STAT-PRO® 9000 | 標準 | あり |
KA202-80S-47C02 | 25 | None | 黒 | なし | STAT-PRO® 3000 | 標準 | なし |
KA202-80S-47C05 | 25 | None | 緑 | なし | STAT-PRO® 3000 | 標準 | なし |
KA202-80SH-47C02 | 25 | 標準、中間ポジション | 黒 | なし | STAT-PRO® 3000 | 標準 | あり |
KA202-80SHH-47C02 | 25 | 標準、ハイポジション | 黒 | なし | STAT-PRO® 3000 | 標準 | あり |
KX202-0100-97C02 | 25 | 標準、中間ポジション | 黒 | なし | STAT-PRO® 9000 | 標準 | あり |
KX202-0200-97C02 | 25 | None | 黒 | なし | STAT-PRO® 9000 | 標準 | あり |
KX202-0500-97C02 | 25 | 標準、ハイポジション | 黒 | なし | STAT-PRO® 9000 | 標準 | あり |
XT201-0104 | 25 | 標準、中間ポジション | 赤 | なし | EMSTAT™ AR+ | 標準 | あり |
XT201-0105 | 25 | 標準、中間ポジション | 緑 | なし | EMSTAT™ AR+ | 標準 | あり |
XT201-0107 | 25 | 標準、中間ポジション | 黒 | なし | EMSTAT™ AR+ | 標準 | あり |
XT201-0300 | 25 | 標準、中間ポジション | 黒 | なし | EMSTAT™ AR | 標準 | なし |
XT202-0100 | 25 | 標準、中間ポジション | 黒 | なし | EMSTAT™ PY PEEK™ | 標準 | あり |
XT202-0500 | 25 | 標準、ハイポジション | 黒 | なし | EMSTAT™ PY PEEK™ | 標準 | あり |
XT203-0100 | 25 | 標準、中間ポジション | 黒 | なし | EMSTAT™ AR+ | 標準 | あり |
XT203-0120 | 25 | 標準、中間ポジション | グレー | なし | EMSTAT™ AR+ | 標準 | あり |
XT203-0500 | 25 | 標準、ハイポジション | 黒 | なし | EMSTAT™ AR+ | 標準 | あり |
XT203-0510 | 25 | 標準、ハイポジション | 青 | なし | EMSTAT™ AR+ | 標準 | あり |
XT203-0520 | 25 | 標準、ハイポジション | グレー | なし | EMSTAT™ AR+ | 標準 | あり |
XT203-0530 | 25 | 標準、ハイポジション | 緑 | なし | EMSTAT™ AR+ | 標準 | あり |
XT204-0200 | 25 | None | 黒 | なし | EMSTAT™ HV+ | 標準 | あり |
XT204-0500 | 25 | 標準、ハイポジション | 黒 | なし | EMSTAT™ HV+ | 標準 | あり |