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  • 汚染物質
  • ガス
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  • プロセス
Chacollet™ (チャコレット) ガスピューリファイヤーは、不活性ガス中のC6以上のハイドロカーボンを効果的に除去できる除粒子フィルター内蔵のピューリファイヤーです。
汚染物質
  • 炭化水素
最大流量
  • 30 slpm
産業
  • 半導体
プロセス
  • フォトリソグラフィ
Luminousgard™ (ルミナスガード) ガスピューリファイヤーは、不活性ガス中のC6以上のハイドロカーボン、酸、および塩基性の不純物を効果的に除去できる除粒子フィルター内蔵のピューリファイヤーです。
汚染物質
  • 炭化水素
  • SO2
  • SO3
  • NO2
  • HCl
  • HF
  • Ch3COOH
  • H2S
  • NH3
  • CH3NH2
  • (CH3)
ガス
  • CDA
  • N2
  • Ar
  • He
最高使用圧力
  • 0.9 Mpa (9 bar/130.5 psig)
産業
  • 半導体
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