Wafergard® III NF-100 インライン ガスフィルター
CO2 ガス、O3 ガス、および低濃度のハイドライド系ドーピングガスでのニッケル製フィルターの使用は推奨しません。
- 超高純度な不活性ガスおよび反応性ガスライン
- 高温ライン
- 圧力変動があるライン
- 新規設備
仕様書
材質 | フィルター部 | 焼結ニッケル メンブレン (特許取得済み) |
ハウジング | 316L ステンレス スチール (電解研磨、SEMI F20 準拠) | |
初期清浄度 | 粒子* | 0.03 個/L 以下 |
初期粒子清浄度 | 0.01 µm 以上の粒子が 0.03 個/L 以下 | |
除粒子径 | ≥ 0.0015 µm | |
He リーク レート | 認証値 | 2 x 10-11 Pa・m3/sec |
試験値 | 1 x 10-10 Pa・m3/sec | |
使用条件 | 最高入口側圧力 | 1 MPa 未満* @ 23 °C (設計圧力: 5 MPa @ 23 ℃) * 日本国内では高圧ガス保安法が適用されます。1 MPa 以上で使用する場合は、お問い合わせください。 |
最大許容正/逆差圧 | 0.52 MPa | |
最高使用温度 | 不活性ガス: 400 °C | |
腐食性ガス、反応性ガス:50 °C | ||
製品保証 | 5 年 | |
粒子捕捉率 | すべての粒子を 99.9999999 % (LRV 9) 以上 @ 100 slpm |
*粒子清浄度は SEMASPEC のシェディングの試験方法 (#93021511A-STD) に従って評価。
ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました
型番 | 継手サイズとタイプ | 長さ | Housing Type |
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WGL100NH3R2 | 入口/出口6.35 mm (1/4")ガスケットシール(VCR継手互換)オス | 84.1 mm (3.31") | A22 |
WGL100NS3R2 | 入口/出口6.35 mm (1/4")ガスケットシール(VCR継手互換)オス | 84.1 mm (3.31") | Electropolished 316 L semi F20 stainless steel |
CO2 ガス、O3 ガス、および低濃度のハイドライド系ドーピングガスでのニッケル製フィルターの使用は推奨しません。