Wafergard® II F-1500 インライン ガスフィルター
- 設備の供給側
- バルクヘッド
- 設備の出口側
仕様書
材質 | フィルター部 | メンブレン: PTFE、コア/スリーブ/サポート: PFA | |
ハウジング | 316L ステンレススチール (内面電解研磨) | ||
初期清浄度 | 粒子 | 0.01 µm 以上の粒子が 0.03 個/L 以下 | |
水分 | 10 ppb 未満 @ 5 % の定格流量 | ||
除粒子径 | 0.0015 μm 以上 | ||
内面粗度 | Ra ≤ 10 μin | ||
He リーク レート | 認証値 | 2×10-11 Pa・m3/sec | |
試験値 | 1×10-10 Pa・m3/sec | ||
使用条件 | 最高入口側圧力 | 1 MPa 未満* @ 23 °C (設計圧力: 1.8 MPa @ 23 ℃) * 日本国内では高圧ガス保安法が適用されます。1 MPa 以上で使用する場合は、お問い合わせください。 | |
最大許容正差圧 | 0.7 MPa @ 23 °C | ||
最大許容逆差圧 | 0.25 MPa @ 23 °C | ||
最高使用温度 | 120 °C | ||
粒子捕捉率 | 99.9999999 % (LRV 9) 以上 @ 1500 slpm | ||
流量 | 性能データをご確認ください |
ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました
型番 | 継手サイズとタイプ | 長さ |
---|---|---|
WG2F15HJJ4 | 1/2" 突合わせ溶接式管継手 | 295 mm (11.60") |
WG2F15HJJ6 | 3/4" 突合わせ溶接式管継手 | 295 mm (11.60") |
WG2F15HRR2 | 3/4" (19.05 mm) ガスケットシール (VCR(r) 互換) オス | 398.0 mm (15.68") |
WG2F15HRR3 | 3/8" (9.53 mm) ガスケットシール (VCR(r) 互換) オス | 225.0 mm (8.86") |