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Wafergard®Max 1000 (ウェハーガード マックス 1000) インライン ガスフィルターは、超高純度ガスアプリケーションで優れた粒子除去性能を発揮します。このフィルターは、PTFEメンブレンと316Lステンレススチール製ハウジングで構成されています。
継手サイズ
  • 12.7 mm (1/2")
継手タイプ
  • ガスケットシール(VCR®互換)
  • 入口/出口: オス
  • コンプレッションシール(Swagelok®互換)
  • 入口/出口: オス
長さ
  • 127.0 mm (5.0")
  • 118.7 mm (4.67")
産業
  • 半導体
  • フラットパネルディスプレイ
  • データストレージ
  • LED
Wafergard® (ウェハーガード) GTL インライン ガスフィルターは、推奨流量 80SLPM の不活性ガス用フィルターです。
継手サイズ
  • RC 1/4
  • 6.35 mm (1/4")
継手タイプ
  • PTメス
  • NPTメス
長さ
  • 101 mm (4.0")
最高使用圧力
  • 0.41 MPa (4.1 bar
  • 56.6 psid) @ 20°C
0.003µmの粒子除去性能を持つPTFEメンブレン製の Linegard™ (ラインガード) MAX-FP インライン ガス フィルターは、一般的なアプリケーション用の中流量レンジ向けのコスト効率に優れたソリューションです。
継手サイズ
  • 6.35 mm (1/4")
  • 9.52 mm (3/8")
  • 12.7 mm (1/2")
継手タイプ
  • Swagelok®
  • VCR®オス
  • NPTメス
長さ
  • 112.7 mm
  • 117.9 mm
  • 118.7 mm
  • 127.0 mm
  • 148 mm
産業
  • 半導体
  • フラットパネルディスプレイ
  • データストレージ
  • LED
高純度ガスアプリケーション向けに優れた粒子除去性能を発揮するWafergard® MAX (ウェハーガード マックス) インライン ガスフィルターは、高純度ガスアプリケーション向けの業界最高水準のフィルターです。
継手サイズ
  • 6.35 mm (1/4")
  • 9.52 mm (3/8")
  • 12.7 mm (1/2")
継手タイプ
  • VCR®オス
  • Swagelok®
  • 突き合わせ溶着チューブ
長さ
  • 112.7 mm (4.44")
  • 117.9 mm (4.64")
  • 118.7 mm (4.67")
  • 127 mm (5.00")
  • 133.4 mm (5.25")
  • 141.2 mm (5.6")
産業
  • 半導体
  • フラットパネルディスプレイ
  • データストレージ
  • LED
Linegard™GIGAX-FP (ラインガード ギガックス-FP) フィルターは、一般的なアプリケーション用の高流量レンジ向けのコスト効率に優れた圧縮空気および不活性ガス用のインラインガスフィルターです。
継手サイズ
  • 12.7 mm (1/2")
  • 19.05 mm (3/4")
継手タイプ
  • ガスケットシール
  • コンプレッションシール
  • 突き合わせ溶着
長さ
  • 210.8 mm (8.30")
  • 222.7 mm (8.77")
  • 225.0 mm (8.86")
産業
  • 半導体
  • フラットパネルディスプレイ
  • データストレージ
  • LED
不活性ガスと反応性ガスに最適な Wafergard® (ウェハーガード) II F マイクロ インライン ガスフィルターは、あらゆるグレードの半導体プロセスガスに使用可能で、高純度ガスシステムにおいて優れた粒子除去性能を発揮します。
継手サイズ
  • 6.35 mm (1/4")
継手タイプ
  • ガスケットシール
  • 突き合わせ溶着チューブ
長さ
  • 84.1 mm (3.31")
  • 73.7 mm (2.90")
最高使用圧力
  • 207 bar (3000 PSIG) @ 23°C (73°F)
Wafergard®GT-Plus (ウェハーガード GT-プラス) インライン ガス フィルターは、推奨流量 30L/min の不活性ガス用フィルターです。
継手サイズ
  • 6.35 mm (1/4")
  • 3.18 mm (1/8")
継手タイプ
  • コンプレッションシール
長さ
  • 69.mm (2.7")
  • 71.5 mm (2.8")
最高使用圧力
  • 0.41 MPa (4.1 bar
  • 56.6 psid) @ 20°C
Wafergard® (ウェハーガード) SG YYシリーズ ガスフィルターは、太陽光発電デバイスおよびフラットパネルディスプレイの真空プロセスに適した高性能ガスフィルターです。
継手サイズ
  • 6.35 mm (1/4")
  • 9.52 mm (3/8")
継手タイプ
  • コンプレッションシール
  • ガスケットシール
  • NPT
長さ
  • 73.7 mm (2.90")
  • 84.1 mm (3.31")
  • 115.5 mm (4.55")
  • 119.3 mm (4.70")
  • 127 mm (5.00")
  • 133.5 mm (5.26")
最高使用圧力
  • 20 MPa (200 bar
  • 2900 psid) @ 23°C (73°F)
Wafergard® (ウェハーガード) II F-40ガスフィルターは、PTFEメンブレンとECTFE製のディスクサポートで構成された中~大流量域用のインラインガスフィルターです。
継手サイズ
  • 12.7 mm (1/2")
  • 19.05 mm (3/4")
  • 9.52 mm (3/8")
継手タイプ
  • ガスケットシール
  • 突き合わせ溶着チューブ
長さ
  • 225 mm (8.86")
  • 295 mm (11.60")
  • 397 mm (15.63")
最高使用圧力
  • 18 bar (250 psig) @ 23°C (73°F)
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