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Aeronex® (エアロネクス) DXシリーズ ガス精製システムは、最新の自動再生型高流量ガス精製システムです。このシステムは最先端の精製技術により、ドライ系および液浸型リソグラフィ装置で使用する高流量なパージガスを精製するための革新的、効率的、費用対効果に優れたソリューションを提供します。
汚染物質
  • 揮発性酸
  • 揮発性塩基
  • 難燃性化合物
  • 凝縮性有機物
  • 非凝縮性有機物
  • 水分
ガス
  • CO2
最高使用圧力
  • 5.1 - 18 bar (60 - 250 psig)
  • 5.5 - 10.3 bar (80 - 150 psig)
最大流量
  • 300 slpm
  • 5000 slpm
Aeronex® (エアロネクス) HXシリーズ ガス精製システムは、H2O、O2、CO、CO2、NMHCを除去します。
汚染物質
  • H2O
  • CO
  • CO2
  • O2
  • トルエン
ガス
  • N2
  • H2
  • Ar
最高使用圧力
  • 5.51 - 10.34 bar (80 - 150 psig)
最大流量
  • 2000 slpm
  • 5000 slpm
Aeronex® (エアロネクス) SKシリーズ ガス精製システムは、アンモニア中のH2O、CO2、O2などのガス状汚染物質をサブppbレベルまで除去します。
汚染物質
  • H2O
  • CO2
  • O2
ガス
  • NH3
最高使用圧力
  • 515 - 1825 kPa (60 - 250 psig)
  • 515 - 1136 kPa (60 - 150 psig)
最大流量
  • 120 slpm
  • 300 slpm
  • 700 slpm
Aeronex® (エアロネクス) Z2シリーズ ガス精製システムは、最新の自動再生型原材料ガス精製システムです。
汚染物質
  • 揮発性塩基
  • 揮発性酸
  • 難燃性化合物
  • 凝縮性有機物
  • 水分
ガス
  • CDA
最高使用圧力
  • 5.51 - 10.34 bar (80 - 150 psig)
最大流量
  • 5000 slpm
  • 2000 slpm
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