クイック注文パッド

下に型番を入力し、カートに追加してください

4個以上注文される場合
へ移動 クイック注文ページ

型番 数量
製品が見つかりません消去して別の型番を入力してください。
この商品の最小注文個数 1
製品が見つかりません消去して別の型番を入力してください。
この商品の最小注文個数 1
製品が見つかりません消去して別の型番を入力してください。
この商品の最小注文個数 1
カートに追加する前に上のエラーを修正してください。
選択を絞り込む
  • 業種
  • プロセス
  • 汚染物質
  • ガス
  • 最高使用圧力
  • 最大流量
Aeronex® (エアロネクス) DXシリーズ ガス精製システムは、最新の自動再生型高流量ガス精製システムです。このシステムは最先端の精製技術により、ドライ系および液浸型リソグラフィ装置で使用する高流量なパージガスを精製するための革新的、効率的、費用対効果に優れたソリューションを提供します。
産業
  • 半導体
プロセス
  • フォトリソグラフィ
  • ウェーハの洗浄・剥離
  • バルクガス供給
汚染物質
  • 揮発性酸
  • 揮発性塩基
  • 難燃性化合物
  • 凝縮性有機物
  • 非凝縮性有機物
  • 水分
ガス
  • CO2
Aeronex® (エアロネクス) HXシリーズ ガス精製システムは、H2O、O2、CO、CO2、NMHCを除去します。
産業
  • 半導体
  • LED
プロセス
  • エピタキシー
  • ガス供給
汚染物質
  • H2O
  • CO
  • CO2
  • O2
  • トルエン
ガス
  • N2
  • H2
  • Ar
Aeronex® (エアロネクス) SKシリーズ ガス精製システムは、アンモニア中のH2O、CO2、O2などのガス状汚染物質をサブppbレベルまで除去します。
産業
  • 半導体
  • LED
プロセス
  • エピタキシー
  • ガス供給
汚染物質
  • H2O
  • CO2
  • O2
ガス
  • NH3
Aeronex® (エアロネクス) Z2シリーズ ガス精製システムは、最新の自動再生型原材料ガス精製システムです。
産業
  • 半導体
  • LED
  • 太陽電池
プロセス
  • フォトリソグラフィ
  • C-シリコン
  • 薄膜
  • バルクガス供給
汚染物質
  • 揮発性塩基
  • 揮発性酸
  • 難燃性化合物
  • 凝縮性有機物
  • 水分
ガス
  • CDA
比較のためにこの商品を追加する場合は、他の4つの商品のうち1つのチェックマークを外してください。 比較のためにこの商品を追加する場合は、他の2つの商品のうち1つのチェックマークを外してください。