VaporSorb™II AB ケミカルフィルター
- フォトリソグラフィ
仕様書
材質 | ||
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ケース | 1.52 mm (0.060”) 透明陽極酸化アルミ | |
メディア | CSP36 | |
カバースクリーン | 1.52 mm (0.060”) 透明陽極酸化アルミ | |
ガスケット(使用する場合) | 6.35 mm x 12.7 mm (0.25” x 0.5”) ポリエチレン、二次側のみ | |
ハンドル(使用する場合) | 9.52 mm (3⁄8”)ナイロン(黒)、フィルター端、フィルター中央 | |
化学的および機械的性能 | ||
パラメータ | 条件 | 目標値 |
気流速度分布 | フィルター二次側0.1 mの9点@ 0.5 m/s | 均一な分布: バラツキはほぼ無し |
圧力損失 | 0.5 m/sec | < 50 Pa |
初期効率(酸) | 100 ppbv SO2 @ 0.5 m/sec | 除去効率(RE) > 99% |
寿命(酸) | 1 ppbv SO2 @ 0.5 m/sec | > 2.5年@ RE > 90% |
初期効率(塩基) | 1000 ppbv NH3 @ 0.5 m/sec | 除去効率(RE) > 99% |
寿命(塩基) | 10 ppbv NH3 @ 0.5 m/sec | > 2.5年@ RE > 90% |
温湿度ばらつき | 30 – 70% RH 18 – 35°C | 製品寿命を通じての劣化 < 10% |
パーティクルの発生 | ft2当たりのパーティクル数(> 0.1 µm) | < 10個@フィルター二次側1 mの地点 |
金属性汚染物質 | 未検出 | < 0.1 ng/L (空気中) |
注: 寿命推定は、類似の吸着剤構成のラボおよびフィールド試験に基づいています。
ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました
型番 | ガスケット(使用する場合) | 高さ | ハンドル/サンプルポート | 幅 | ||||||||||||
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ESI004866-01 | なし | 360 mm (14.17") | なし/なし | 620 mm (24.40") | ||||||||||||
ESI004866-02 | なし | 460 mm (18.11") | なし/なし | 360 mm (14.17") | ||||||||||||
ESI004866-04 | なし | なし | なし | なし | 460 mm (18.11") | 460 mm (18.11") | 460 mm (18.11") | 460 mm (18.11") | なし/なし | なし/なし | なし/なし | なし/なし | 620 mm (24.40") | 620 mm (24.40") | 620 mm (24.40") | 620 mm (24.40") |
ESI004866-07 | なし | 615 mm (24.21") | なし/なし | 310 mm (12.20") | ||||||||||||
ESI004866-12 | あり | 460 mm (18.11") | なし/なし | 620 mm (24.40") | ||||||||||||
ESI004866-13 | あり | 460 mm (18.11") | なし/なし | 385 mm (15.15") | ||||||||||||
ESI004866-14 | あり | 460 mm (18.11") | なし/なし | 460 mm (18.11") | ||||||||||||
ESI004866-15 | あり | 615 mm (24.21") | なし/なし | 310 mm (12.20") | ||||||||||||
ESI004866-16 | あり | 460 mm (18.11") | なし/なし | 360 mm (14.17") | ||||||||||||
ESI004866-17 | あり | 360 mm (14.17") | なし/なし | 620 mm (24.40") | ||||||||||||
ESI004866-18 | あり | 615 mm (24.21") | なし/なし | 155 mm (6.10") | ||||||||||||
ESI004866-21 | なし | 610 mm (24.01") | なし/なし | 305 mm (12.0") | ||||||||||||
ESI004866-22 | なし | 610 mm (24.01") | なし/なし | 150 mm (5.90") | ||||||||||||
ESI006379-02 | なし | 360 mm (14.17") | あり/なし | 620 mm (24.40") |