TEPO
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- シリコン酸化膜へのドーピング
仕様書
材料特性 | |||
---|---|---|---|
化学式: | C6H15O4P | ||
分子量: | 182.16 | ||
密度: | 1.0725 gm/mL | ||
沸点: | 214.5 °C @ 0.1 mm Hg | ||
融点: | -56 °C | ||
引火点 (密閉法): | 115 °C | ||
純度分析 | |||
元素 | 検出限界 [ppb] | 仕様 [ppb] | 分析方法 |
アルミニウム | 0.012 | 0.500 | ICP-MS |
アンチモン | 0.018 | 0.100 | ICP-MS |
ヒ素 | 0.018 | 1.000 | ICP-MS |
バリウム | 0.003 | 0.050 | ICP-MS |
ベリリウム | 0.005 | 0.050 | ICP-MS |
ビスマス | 0.004 | 0.050 | ICP-MS |
ホウ素 | 0.334 | 10.000 | ICP-MS |
カドミウム | 0.005 | 0.050 | ICP-MS |
カルシウム | 0.043 | 1.000 | ICP-MS |
セリウム | 0.003 | 0.050 | ICP-MS |
クロム | 0.007 | 0.050 | ICP-MS |
コバルト | 0.005 | 0.150 | ICP-MS |
銅 | 0.008 | 0.500 | ICP-MS |
ガリウム | 0.004 | 0.100 | ICP-MS |
ゲルマニウム | 0.010 | 0.050 | ICP-MS |
金 | 0.006 | 0.100 | ICP-MS |
ハフニウム | 0.005 | 0.200 | ICP-MS |
インジウム | 0.004 | 0.050 | ICP-MS |
イリジウム | 0.004 | 0.050 | ICP-MS |
鉄 | 0.014 | 0.800 | ICP-MS |
鉛 | 0.004 | 0.100 | ICP-MS |
リチウム | 0.006 | 0.100 | ICP-MS |
マグネシウム | 0.005 | 0.300 | ICP-MS |
マンガン | 0.038 | 0.100 | ICP-MS |
水銀 | 0.032 | 0.100 | ICP-MS |
モリブデン | 0.008 | 0.100 | ICP-MS |
ニッケル | 0.007 | 0.500 | ICP-MS |
ニオブ | 0.003 | 0.050 | ICP-MS |
パラジウム | 0.010 | 0.050 | ICP-MS |
白金 | 0.012 | 0.050 | ICP-MS |
カリウム | 0.072 | 0.200 | ICP-MS |
レニウム | 0.003 | 0.050 | ICP-MS |
ロジウム | 0.002 | 0.050 | ICP-MS |
ルビジウム | 0.003 | 0.050 | ICP-MS |
銀 | 0.013 | 0.300 | ICP-MS |
ナトリウム | 0.032 | 1.000 | ICP-MS |
ストロンチウム | 0.004 | 0.050 | ICP-MS |
タンタル | 0.003 | 0.050 | ICP-MS |
タリウム | 0.003 | 0.050 | ICP/MS |
トリウム | 0.004 | 0.050 | ICP-MS |
スズ | 0.033 | 0.100 | ICP-MS |
チタン | 0.015 | 0.200 | ICP-MS |
タングステン | 0.006 | 0.050 | ICP-MS |
ウラン | 0.004 | 0.050 | ICP-MS |
バナジウム | 0.010 | 0.050 | ICP-MS |
亜鉛 | 0.028 | 1.000 | ICP-MS |
ジルコニウム | 0.004 | 0.200 | ICP-MS |
粒子サイズ | 仕様 [mL] | 分析方法 | |
> 0.2 µm | 10 | PMS | |
> 0.3 µm | 7 | PMS | |
> 0.5 µm | 5 | PMS | |
> 1.0 µm | 1 | PMS | |
パラメータ | 検出限界仕様 [ppb] | 分析方法 | |
含有率 | — 99.99 % | GC | |
塩化物 | — 50 ppb | 標準 | |
色 | — 5 | 標準 | |
純度 | — 99.9999995 % | ICP-MS | |
水 | 1.3 ppm 20 ppm | KF滴定装置 | |
インテグリス製キャニスターの最大充填重量 | |||
2 ガロン | 7,700 g | ||
5 ガロン | 19,500 g | ||
10 ガロン | 37,000 g |
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