Integra®空圧式バルブ、3/4"オリフィス、二方弁、高温、ノーマリークローズ
注:
- 構成によっては不可能な場合があります。複数の特注機能が必要な場合は、インテグリスまでお問い合わせください。
- フッ素系界面活性剤を含む流体のハンドリングで「スペースセーバー」ポート接続を使用する場合は、インテグリスまでお問い合わせください。
- 標準でピラーナット、インサート、ゲージリングが付属します。
- 高温・高純度の腐食性薬液のハンドリング
- 高温の硫酸やリン酸を使用するフォトレジスト剥離アプリケーション
- 薬液ラインサイズ: 19.05 mm (3/4") - 25.4 mm (1")
仕様書
ポート接続 | 流量係数 | 寸法 | ||||
A | B | C | D | E | ||
19.05 mm (3/4")スーパー300タイプPillar®継手 | 6.1 Cv (87.1 Kv) | 133.4 mm (5.25") | 20.3 mm (0.80") | 98.3 mm (3.87") | 104.4 mm (4.11") | 105.9 mm (4.17") |
19.05 mm (3/4")プライムロック® | 6.1 Cv (87.1 Kv) | 150.4 mm (5.92") | 24.4 mm (0.96") | 107.4 mm (4.23") | 113.5 mm (4.47") | 105.1 mm (4.53") |
19.05 mm (3/4")ピュアボンド® | 7.4 Cv (105.7 Kv) | 118.6 mm (4.67") | 20.3 mm (0.80") | 98.3 mm (3.87") | 104.4 mm (4.11") | 105.9 mm (4.17") |
19.05 mm (3/4")チューブ出し | 6.1 Cv (87.1 Kv) | 128.8 mm (5.07") | 20.3 mm (0.80") | 98.3 mm (3.87") | 104.4 mm (4.11") | 105.9 mm (4.17") |
25.4 mm (1")スーパー300タイプピラー継手 | 8.8 Cv (125.7 Kv) | 146.1 mm (5.75") | 26.4 mm (1.04") | 109.5 mm (4.31") | 115.6 mm (4.55") | 117.1 mm (4.61") |
25.4 mm (1")プライムロック | 8.8 Cv (125.7 Kv) | 159.0 mm (6.26") | 28.4 mm (1.12") | 111.5 mm (4.39") | 117.6 mm (4.63") | 119.2 mm (4.69") |
25.4 mm (1")ピュアボンド | 9.8 Cv (140.0 Kv) | 118.6 mm (4.67") | 24.4 mm (0.96") | 107.4 mm (4.23") | 113.5 mm (4.47") | 105.1 mm (4.53") |
25.4 mm (1")チューブ出し | 8.8 Cv (125.7 Kv) | 145.8 mm (5.74") | 24.4 mm (0.96") | 107.4 mm (4.23") | 113.5 mm (4.47") | 105.1 mm (4.53") |
センサー(オプション)の寸法情報(上の2、3番目の図面に記載)
バルブの開/閉位置を電気的に監視するポジションセンサーオプションをご用意しています。
注: ポジションセンサーインジケータを使用するにはバルブに取り付けるOmron®センサー(-OM)が必要です。さらに、オムロンのポジションセンサーインジケータ(EE-SX770RまたはEE-SX770A、別売)も必要となります。
材質 | |
接液部 | PFAまたはPTFE |
外部部品 | PVDF |
圧力範囲 | 入口または出口ポートの最大定格98.0 - 551.6 kPa (性能データを参照)* |
温度範囲 | DEおよびDHバージョンの周囲温度: 21 – 49°C DHバージョンの流体温度*: 21 – 180°C DEバージョンの流体温度*: 21 – 200°C |
保証耐圧(DEバージョンのみ) | 100万回の圧力サイクルにわたって圧力255 kPa、温度220°Cで試験済み |
エア供給圧 | 448.2 - 551.6 kPa |
エア供給ポート | 1/8 NPTメス |
アクチュエータの排気接続(ポジションセンサー付きのバージョンのみ) | 10-32 UNF |
*実際のバルブ性能は圧力と温度によって異なります。性能チャートの実際の数値を参照してください。
ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました
型番 | 入口 | 出口 | 200°Cまで対応 | オプション |
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DE12-2C-12KP-OM | 19.05 mm (3/4") PrimeLock® | 19.05 mm (3/4") PureBond®パイプ | あり | オムロンポジションセンサー |
DE12-2C-12KV-OM | 19.05 mm (3/4") PrimeLock® | 19.05 mm (3/4") PrimeLock®「スペースセーバー」 | あり | オムロンポジションセンサー |
DE12-2C-12P-OM | 19.05 mm (3/4") PureBond®パイプ | 19.05 mm (3/4") PureBond®パイプ | あり | オムロンポジションセンサー |
DE12-2C-12PK-OM | 19.05 mm (3/4") PureBond®パイプ | 19.05 mm (3/4") PrimeLock® | あり | オムロンポジションセンサー |
DE12-2C-12VK-OM | 19.05 mm (3/4") PrimeLock®「スペースセーバー」 | 19.05 mm (3/4") PrimeLock® | あり | オムロンポジションセンサー |
DE12-2C-12VV-OM | 19.05 mm (3/4") PrimeLock®「スペースセーバー」 | 19.05 mm (3/4") PrimeLock®「スペースセーバー」 | あり | オムロンポジションセンサー |
DE12-2C-16K-OM | 25.4 mm (1") PrimeLock® | 25.4 mm (1") PrimeLock® | あり | オムロンポジションセンサー |
DE12-2C-16KP-OM | 25.4 mm (1") PrimeLock® | 25.4 mm (1") PureBond®パイプ | あり | オムロンポジションセンサー |
DE12-2C-16KV-OM | 25.4 mm (1") PrimeLock® | 25.4 mm (1") PrimeLock®「スペースセーバー」 | あり | オムロンポジションセンサー |
DE12-2C-16PK-OM | 25.4 mm (1") PureBond®パイプ | 25.4 mm (1") PrimeLock® | あり | オムロンポジションセンサー |
DE12-2C-16VK-OM | 25.4 mm (1") PrimeLock®「スペースセーバー」 | 25.4 mm (1") PrimeLock® | あり | オムロンポジションセンサー |
DE12-2C-16VV-OM | 25.4 mm (1") PrimeLock®「スペースセーバー」 | 25.4 mm (1") PrimeLock®「スペースセーバー」 | あり | オムロンポジションセンサー |
DH12-2C-12K-OM | 19.05 mm (3/4") PrimeLock® | 19.05 mm (3/4") PrimeLock® | なし | オムロンポジションセンサー |
DH12-2C-12KP | 19.05 mm (3/4") PrimeLock® | 19.05 mm (3/4") PureBond®パイプ | なし | N/A |
DH12-2C-12KP-OM | 19.05 mm (3/4") PrimeLock® | 19.05 mm (3/4") PureBond®パイプ | なし | オムロンポジションセンサー |
DH12-2C-12KV | 19.05 mm (3/4") PrimeLock® | 19.05 mm (3/4") PrimeLock®「スペースセーバー」 | なし | N/A |
DH12-2C-12KV-OM | 19.05 mm (3/4") PrimeLock® | 19.05 mm (3/4") PrimeLock®「スペースセーバー」 | なし | オムロンポジションセンサー |
DH12-2C-12P-OM | 19.05 mm (3/4") PureBond®パイプ | 19.05 mm (3/4") PureBond®パイプ | なし | オムロンポジションセンサー |
DH12-2C-12P12PS3-N | 19.05 mm (3/4") PureBond®パイプ | 19.05 mm (3/4")スーパー300タイプPillar® | なし | スーパー300タイプPillar®ナット付き |
DH12-2C-12PK | 19.05 mm (3/4") PureBond®パイプ | 19.05 mm (3/4") PrimeLock® | なし | N/A |
DH12-2C-12PK-OM | 19.05 mm (3/4") PureBond®パイプ | 19.05 mm (3/4") PrimeLock® | なし | オムロンポジションセンサー |
DH12-2C-12PS312P-N | 19.05 mm (3/4")スーパー300タイプPillar® | 19.05 mm (3/4") PureBond®パイプ | なし | スーパー300タイプPillar®ナット付き |
DH12-2C-12VK | 19.05 mm (3/4") PrimeLock®「スペースセーバー」 | 19.05 mm (3/4") PrimeLock® | なし | N/A |
DH12-2C-12VK-OM | 19.05 mm (3/4") PrimeLock®「スペースセーバー」 | 19.05 mm (3/4") PrimeLock® | なし | オムロンポジションセンサー |
DH12-2C-12VV | 19.05 mm (3/4") PrimeLock®「スペースセーバー」 | 19.05 mm (3/4") PrimeLock®「スペースセーバー」 | なし | N/A |
DH12-2C-12VV-OM | 19.05 mm (3/4") PrimeLock®「スペースセーバー」 | 19.05 mm (3/4") PrimeLock®「スペースセーバー」 | なし | オムロンポジションセンサー |
DH12-2C-16-TS | 25.4 mm (1")チューブ出し | 25.4 mm (1")チューブ出し | なし | N/A |
DH12-2C-16F-TS-OM | 25.4 mm (1")チューブ出し | 25.4 mm (1")チューブ出し | なし | オムロンポジションセンサー |
DH12-2C-16K-OM | 25.4 mm (1") PrimeLock® | 25.4 mm (1") PrimeLock® | なし | オムロンポジションセンサー |
DH12-2C-16KP | 25.4 mm (1") PrimeLock® | 25.4 mm (1") PureBond®パイプ | なし | N/A |
DH12-2C-16KP-OM | 25.4 mm (1") PrimeLock® | 25.4 mm (1") PureBond®パイプ | なし | オムロンポジションセンサー |
DH12-2C-16KV | 25.4 mm (1") PrimeLock® | 25.4 mm (1") PrimeLock®「スペースセーバー」 | なし | N/A |
DH12-2C-16KV-OM | 25.4 mm (1") PrimeLock® | 25.4 mm (1") PrimeLock®「スペースセーバー」 | なし | オムロンポジションセンサー |
DH12-2C-16P-OM | 25.4 mm (1") PureBond®パイプ | 25.4 mm (1") PureBond®パイプ | なし | オムロンポジションセンサー |
DH12-2C-16P16PS3-N | 25.4 mm (1") PureBond®パイプ | 25.4 mm (1")スーパー300タイプPillar® | なし | スーパー300タイプPillar®ナット付き |
DH12-2C-16P3-N | 25.4 mm (1")スーパー300タイプPillar® | 25.4 mm (1")スーパー300タイプPillar® | なし | スーパー300タイプPillar®ナット付き |
DH12-2C-16PK | 25.4 mm (1") PureBond®パイプ | 25.4 mm (1") PrimeLock® | なし | N/A |
DH12-2C-16PK-OM | 25.4 mm (1") PureBond®パイプ | 25.4 mm (1") PrimeLock® | なし | オムロンポジションセンサー |
DH12-2C-16PS316P-N | 25.4 mm (1")スーパー300タイプPillar® | 25.4 mm (1") PureBond®パイプ | なし | スーパー300タイプPillar®ナット付き |
DH12-2C-16VK | 25.4 mm (1") PrimeLock®「スペースセーバー」 | 25.4 mm (1") PrimeLock® | なし | N/A |
DH12-2C-16VK-OM | 25.4 mm (1") PrimeLock®「スペースセーバー」 | 25.4 mm (1") PrimeLock® | なし | オムロンポジションセンサー |
DH12-2C-16VV | 25.4 mm (1") PrimeLock®「スペースセーバー」 | 25.4 mm (1") PrimeLock®「スペースセーバー」 | なし | N/A |
DH12-2C-16VV-OM | 25.4 mm (1") PrimeLock®「スペースセーバー」 | 25.4 mm (1") PrimeLock®「スペースセーバー」 | なし | オムロンポジションセンサー |
注:
- 構成によっては不可能な場合があります。複数の特注機能が必要な場合は、インテグリスまでお問い合わせください。
- フッ素系界面活性剤を含む流体のハンドリングで「スペースセーバー」ポート接続を使用する場合は、インテグリスまでお問い合わせください。
- 標準でピラーナット、インサート、ゲージリングが付属します。