Eximor® SV5 ディスポーザブル フィルター
- NTD (Negative Tone Development) 溶剤
- RRC (Reducing resist consumption) 溶剤
仕様書
材質 | フィルター | PTFE ベース |
シェル、コア、サポート | PFA | |
O-リング (OF タイプ) | カルレッツ | |
使用条件 | 最高使用圧力 | 0.39 MPa @ 25 °C |
最大許容正差圧/逆差圧 | 0.29 MPa @ 25 °C | |
最高使用温度 | 40 °C | |
対応薬液 | nBA、EL、PGMEA、PGME、NMP など、ほとんどのフォトケミカル溶剤に対応します。適合性の詳細については、お問い合わせください。 | |
ホールドアップボリューム | 50 mL | |
インテグリスは、最適なろ過性能を確保するために、少なくとも 1 年に 1 回はフィルターを交換することをお勧めします。 定期的な交換は、過度の使用から生じる化学物質の漏れの可能性を減らします。 インテグリスの標準保証期間は出荷日から1年です。 |
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